実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のお知らせ(~2014)

  アリオスの電話番号042-546-4811

 

お知らせ2014

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2014.11.28[ 書籍「マイクロ波エネルギーと応用技術」 が出版されます ]

表記の本が出版されました。出版社の案内は こちらとなります。
マイクロ波 工業的利用 わかりやすい 書籍

最新 マイクロ波エネルギーと応用技術
New Microwave Energy Technology and its Applications


この本は、電磁波エネルギー応用学会の会員を中心として、現在の日本のマイクロ波応用の研究者および技術者が各自の専門分野について分担して書いた本です。
おそらく、日本語で書かれたこの分野の本としては、最も最新な情報を網羅していると思われます。
恥ずかしながら、編集子も、第6章の一部を執筆させて頂きました。
手前味噌で恐縮ですが、なかなか良くまとまっていると思っています。
マイクロ波が工業的にどのように使われているかは、とりあえずこの一冊で俯瞰できます。
高価な本ですが、ご検討頂ければ幸いです。
この書籍は、紙ベースの書籍としてだけではなく、CD版としても販売されるようです。価格など詳細は出版社にお問い合わせ下さい。
http://sgsc.co.jp/products/microwave.html

(編集子 ss)
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2014.11.21[ 第8回日本電磁波エネルギー応用学会シンポジウム 発表報告]

高知で開催された第8回日本電磁波エネルギー応用学会シンポジウムに出席してきました。
前後のイベントも含めると4日間の日程です。
医療、バイオへの応用から、化学反応、そして装置、理論に至るまで様々な発表が行われ、活発な議論が展開されました。
特に面白かったのは、19日夕方に開催された「マイクロ波技術ナイトセッション」と題された催しです。
アルコールを含む飲料や軽食をつまみながら、パネラーの発表や問題提起に各人が意見を述べていくという形式で、議論が行われました。
私も、自身の知識や見識不足などを感じながらも意見も述べさせて頂きました。
既にこちらの学会は8回を重ねており、顔見知りになった方も多く、アットホームな雰囲気で本音に近いところで議論出来たと思います。
夜遅くまでイベントが盛りだくさんで、どの講演も目を離せず、結果的にシンポジウムの2日間は、昼食以外はホテルとの往復に終始しました。もちろん、ホテルに戻ったら、もうぐったりです。

弊社の発表は、いずれも様々な質問やご意見を頂きました。
厳しいご意見も頂きましたので、今後の開発の参考にしていきたいと考えております。
こんなに楽しくて疲れる学会はなかなか珍しいと思います。
もし、ご興味がおありでしたら、是非ご参加下さい。
http://www.jemea.org/

高知のゆるキャラ「とさけんぴ」
[高知のゆるキャラ「とさけんぴ」 ]
はりまや橋付近を散歩することがあるそうです。後ろにはりまや橋が写っています。
いろいろお忙しいようで、会えるのは珍しいとのことです。年甲斐もなく一緒に写真を撮ってしまいました(非公開)。
11月下旬は、埼玉県羽生市でお仕事だそうです。
http://tosakenpi.com


路面電車と、はりまや橋のりば
[路面電車と、はりまや橋のりば]
高知市内の移動手段として、路面電車は非常に便利です。
日中は、数分間隔で運行されており、待たずに乗ることが出来ます。
はりまや橋を中心に東西南北に路線があります。各国で払い下げられた車両も運行されており、異国情緒も楽しめました。

(編集子ss)
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2014.11.17[ ダイヤモンドシンポジウム、Plasma Conference 展示のお知らせ ]

来週は展示会、発表が目白押しとなります。どの展示会・発表も、各分野の最新技術をご紹介する予定です。

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□第28回ダイヤモンドシンポジウム
アリオスは、ハイパワー化したダイヤモンド合成用CVD装置により、 世界トップレベルの成長速度を実現しました。
今回のダイヤモンドシンポジウムでは、そのような弊社の最新技術を紹介します。
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[写真:ハイパワー化した装置。 (100)基板を用いて100μm/h以上の成長速度を得られています。]

日時:2014年11月19日(水)~21日(金)
会場:東京電機大学 東京千住キャンパス
詳細は以下URLにてご確認ください。
http://jndf.org/index.php/katsudo/symposium/sympo-28th.htm

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□Plasma Conference2014 日本物理学会2014年秋季大会
今年のPlasma Conferenceでは、マイクロ波液中プラズマの技術、大気圧プラズマ技術を紹介します。
またプラズマ測定の行えるラングミュア―プローブも展示します。
プラズマ安定放電のヒント、プラズマ診断・・・プラズマに関するご相談お待ちしております。
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[写真:今回展示するラングミュアプローブ]

日時:2014年11月18日(火)~21日(金)
会場:朱鷺メッセ 新潟コンベンションセンター (新潟市中央区)
詳細は以下URLにてご確認ください。
http://www.jspf.or.jp/PLASMA2014/jpn/index.html
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この機会に、アリオスの技術が皆様のご研究のお役に立てますと幸いです。

(営業技術部)
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2014.11.17[ 日本電磁波エネルギー応用学会シンポジウム 発表のお知らせ ]

弊社の開発部が、日本電磁波エネルギー応用学会シンポジウムにて、発表を行います。

発表内容
1. マイクロ波液中プラズマの無電極化への試み (11/18午前の口頭発表)
マイクロ波液中プラズマは電極が液中に露出するためにこれによる金属汚損が生じますが、電極を誘電体で覆うことにより、この金属汚損を回避する実験の報告です。

2. マイクロ波大気圧プラズマ源の開発 (11/18午前の口頭発表)
ものづくり補助金を頂いて、材料改質用の大気圧プラズマ源を新たに開発しました。その報告です。

3. マイクロ波液中プラズマを用いたキトサンやセルロースの糖化 (11/18ポスター発表)
上智大学堀越研究室との共同研究です。マイクロ波液中プラズマを用いて、表題の有機物を糖化する試みに関する報告です。

日時:2014年11月17日(月)~18日(火)
会場:高知会館 (高知県高知市)
詳細はJEMEAのホームページでご確認ください。
http://www.jemea.org/modules/eguide/event.php?eid=46

(開発部)
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2014.10.31[ モノづくりマッチングJapan2014内「サポイン事業ビジネス交流展」 出展レポート ]

前回ブログにてお知らせいたしましたが、
10月15日~17日にかけて、モノづくりマッチングJapan2014内「サポイン事業ビジネス交流展」に出展いたしました。
多くの皆様のご来場ありがとうございました。

今回の展示では、マイクロ波液中プラズマ・大気圧プラズマの新技術をご紹介しました。
名刺など頂いた方々には資料などを順次発送、ご連絡など差し上げますので、よろしくお願い申し上げます。

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[写真:ブースの様子 モノづくりマッチングJapan2014 サポイン事業ビジネス交流展]

多くのご来場者様より、ご質問、有意義なご意見を頂くことができました。
今後もよりいっそうの製品改良に努めて参ります。
また、会期中に開催された「サポイン企業セミナー」も、大変有意義な機会となりました。
ご来場者様ならびに、このような機会を設けてくださいました経済産業省 関東経済産業局様に御礼申し上げます。

(営業技術部)
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2014.10.06[ 日刊工業新聞に弊社の”半導体ダイヤモンド高速成長技術”が掲載 ]

この度、科学技術振興機構のA-STEPの支援を受け、
金沢大学 徳田先生、産業技術総合研究所と共同研究している、
単結晶ダイヤモンドの高速成長の成果が、日刊工業新聞に取り上げられました。
(日刊工業新聞 10月6日朝刊 「科学技術・大学」面)

当初開発した単結晶ダイヤモンド合成用CVD装置は、マイクロ波電力 200W、7~8kPa の圧力、CH 4 濃度 1% の条件下で (111) 基板を用いて最大 1~2μm/h の成長速度でした。
その後、供給するマイクロ波電力の増加(それに伴う基板とチャンバーの冷却)を行い、 (111) 基板で 10μm/h 以上の成長速度を達成しました。
その後、さらにパワーアップとメタン濃度、及び圧力の最適化を行い、37μm/hを達成しました。

今回、日刊工業新聞に取り上げられた成果は、1時間に100μm/hの成長速度であり、これまでの成果を更に伸ばす技術開発となりました。

半導体ダイヤモンド高速成長 単結晶ダイヤモンド
[右: 単結晶ダイヤモンド合成用CVD装置/左: 成膜チャンバーの断面図]

アリオスでは、ダイヤモンド成膜はもちろんのこと、DLCなど炭素系成膜に適した装置に強みを持っています。
装置製作段階では、お客様と共に、問題解決に取り組み、より良い装置の開発に努めています。

装置の仕様やお見積に関するご相談は、042-546-4811(お電話)または、 お問い合わせまでお願い申し上げます。

[該当記事URL]
日刊工業新聞
http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0720141006eaac.html
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2014.09.29[モノづくりマッチングJapan2014 出展のお知らせ]

この度、モノづくりマッチングJapan2014内「サポイン事業ビジネス交流展」に出展いたします。
この「サポイン事業ビジネス交流展」は、経済産業省 関東経済産業局より選出された、
優れた技術を持つ企業が出展し、技術ニーズとのマッチングを図る展示会です。
同日に「真空展」「Japan Robot Week」等も開催され、最先端技術が一同に集結する機会となっております。

今回の展示では、マイクロ波液中プラズマ・大気圧プラズマの新技術をご紹介いたします。
ブースには技術者が常駐しますので、装置仕様に関するご質問、デモのご相談等も承ります。
テーマ探しや情報収集のお役に立てれば幸いです。

また、会期中に開催される「サポイン企業セミナー」において、弊社開発部によるプレゼンテーションを予定しております。
ご参加には申し込みが必要となります。ぜひこちらにも是非ご参加下さい。

□アリオス株式会社 企業プレゼンテーション日時□
10月16日(木) 15:50~/東3ホール ワークショップ会場C
→プレゼンテーション参加お申し込み(外部リンク)

ナノ粒子生成なら液中プラズマ装置
[左:マイクロ波液中プラズマ装置/右:大気圧プラズマ実験装置]

[展示内容]
液中プラズマ技術、大気圧プラズマ技術
[日時]
2014年10月15日(水)~17日(金) 10:00~17:00
※アリオス 企業プレゼンテーション:10月16日(木)15:50~
[場所]
東京ビッグサイト 東2ホール
[主催]
日刊工業新聞
[展示会URL]
http://www.nikkan.co.jp/eve/match/
http://www.nikkan.co.jp/eve/match/sapoin/


(営業技術部)
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2014.09.17[ イノベーションジャパン2014 出展レポート ]

前回ブログ にてお知らせいたしましたが、
9月11日~12日にかけて、イノベーションジャパン2014(東京ビックサイト)に出展いたしました。
多くの皆様のご来場ありがとうございました。

当社の展示は、当社の紹介と、マイクロ波液中プラズマによるナノ粒子生成をメインテーマに、製品紹介なども入れて展示しました。
おかげさまで非常に盛況でした。ひっきりなしにブースに来られるお客様を2人の説明員では対応できませんでした。
用意した資料も早々に無くなり、途中で何度か補充を試みましたが、それでも両日とも終了時には完全に無くなるような状態でした。
これは、他の展示会では類を見ない現象です。結果的に、ご対応できなかったお客様がいらっしゃったこと、資料をお渡しできなかったことなど、ご迷惑をおかけしたことお詫び申し上げます。
名刺など頂いた方々には資料などを順次発送、ご連絡など差し上げますので、よろしくお願い申し上げます。

ご来場ありがとうございました イノベーションジャパン
[写真:ブースの様子 イノベーションジャパン2014]

通常の展示会ですと、製品展示と商談がメインですが、
今回は、NEDO様に用意頂いたブースでは、研究の成果展示と説明がメインでした。
このことは、ご来場者様にとって、通常の展示会よりもお気軽に話を聞いて頂けたようで、多くの方々からたくさんの有意義な質問やご意見を頂きました。

今後は、当社の情報発信に役立てさせて頂きますとともに、製品の改良にも努めて参りたいと考えております。
また、ご来場者様ならびに展示の機会を与えて下さったNEDO様に御礼申し上げます。

(編集子ss) img
2014.08.08[ イノベーション・ジャパン2014 出展のお知らせ ]

アリオス株式会社は、イノベーション・ジャパン2014に出展いたします。
この展示会は、科学技術振興機構(JST)と新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)が主催し、 革新的な技術シーズを事業化に結びつけるための展示会であり、多数の技術展示が予定されています。
当社は、マイクロ波液中プラズマを中心に展示、説明を行います。
開催当日は、マイクロ波や液中プラズマを担当する当社技術者が常駐し対応する予定です。

開催ならびに出展概要は、以下の通りです。

[展示テーマ]
マイクロ波液中プラズマによるナノ粒子生成
[日時]
2014年9月11日(木) 9:30~17:30 ~ 12日(金) 10:00~17:00
[場所]
東京ビッグサイト 東1ホール
小間番号NA-12(NEDO支援先企業・研究者展示ブース)
[主催]
イノベーション・ジャパン2014運営事務局
[展示会URL]
http://www.ij2014.com/

※入場無料

皆様のお越しをお待ちしております。
イノベーションジャパン画像

(編集子ss) img
2014.05.20[ サポイン事業:中小企業庁の「事例集」に掲載 ]

弊社で委託事業として実施させて頂いた、戦略的基盤技術高度化支援事業(サポイン事業)の
「金属担持触媒製造のための新しいめっき技術および担持触媒ペースト」
が中小企業庁発行の事例集に掲載されました。
この研究は、マイクロ波で励起した液中プラズマの応用を探る開発研究であり、本事業においては、金属担持触媒をマイクロ波液中プラズマによって製造し、これを使って燃料電池を組立て、性能を実証しました。
他にも様々な派生技術が生まれており、当社にとって非常に有意義な事業でした。

この冊子は現在、オンラインでダウンロードすることが出来るようになっています。
ご覧頂ければ幸いです。

中小企業庁の当該ページ
http://www.chusho.meti.go.jp/keiei/sapoin/senryaku/
平成22年度~23年度研究開発プロジェクト 研究開発成果事例集
http://www.chusho.meti.go.jp/keiei/sapoin/senryaku/download/H22-23fyPj.pdf
(p9~11 プロジェクトリーダー 弊社開発部 佐藤に対するインタビュー記事,p294~295p事業の紹介)

当社Web関連リンク
液中プラズマ
マイクロ波液中プラズマによる白金担持触媒製造 img
2014.04.04[ 日刊工業新聞に弊社の”太陽電池式自立電源” が掲載 ]

上智大学 堀越 智先生の水浄化装置が日刊工業新聞に掲載されました。
弊社では、堀越先生のご依頼により、こちらの装置の一部部品と太陽電池式自立電源作製のお手伝いをさせていただきました。
http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0520140321eaad.html

この記事の装置には、2つの要素技術があります。
1つは、マイクロ波ランプを使用した水質浄化の装置です。この記事の水質浄化装置は他社が製造しましたが、弊社では、この技術開発に微力ながらお手伝いしてきました。この記事では、水銀ランプを使っていますが、水銀を使わないマイクロ波ランプの試作も試みています。水銀を使わないマイクロ波ランプ技術の詳細は、特許と論文が出ておりますので、御興味のある方はご参照下さい。
1)  特願2006-346460 紫外線光源及び化学反応促進装置
2) Satoshi Horikoshi, Akihiro Tsuchida, Hideki Sakai, Masahiko Abe, Susumu Sato, Nick Serpone “Microwave discharge electrodeless lamps (MDEL) Part IV. Novel self-ignition system incorporating metallic microwave condensing cones to activate MDELs in photochemical reactions.” Photochem. Photobiol. Sci., 2009, 8, 1618-1625.

もう1つは、太陽電池で充電する方式の自立電源です。こちらは弊社で作らせていただきました。
太陽電池式自立電源
[左:太陽電池パネルを展開した状態 右:太陽電池パネルを格納した状態]

太陽電池の容量は、約600Wです。電力はディープサイクルバッテリー(合計 3780Wh )に充電します。出力は、100Vで最大1.5kVAで、電子レンジでも動作させることが出来ます。但し、1.5kVA出力では、バッテリーに流れる電流は約50Aになり、出力できる時間は約1時間です。 太陽電池は展開式となっており、画像は広げた状態ですが、折りたたむと、約1/3のサイズとなり、大変コンパクトにすることができます。
こちらの電源は、様々な用途でお使いいただける仕様となっております。カスタマイズや特殊仕様も可能ですので、お問い合わせは、弊社営業技術部までお願いいたします。 (→製品に関するお問い合わせ)

太陽電池の活用シーンは、多岐に及んでおり、被災地や様々な国際環境での活躍が期待できます。これからも、技術の発展とひいては皆様の暮らしに貢献できる”ものづくり”を目指してまいります。 img
2013.12.20 [ 展示会 出展のお知らせ ]

【nano tech2014 -第13回国際ナノテクノロジー総合展・技術会議-】
この度、nano tech2014に出展いたします。
今回は、単結晶ダイヤモンド合成用CVD装置ハイパワーシステム、小型マイクロ波イオン源を搭載したイオンビームスパッタ装置など新製品を中心に展示します。 単結晶ダイヤモンド合成CVD装置については、本装置で製作した世界初の「CVD単結晶ダイヤモンド(111)自立基板」も展示します。 期間中、技術者が常駐し詳しい解説をする予定です。各種マイクロ波技術に精通した当社技術をご覧頂ければ幸いです。

[展示内容]
マイクロ波液中プラズマ、単結晶ダイヤモンド合成CVD、大気圧プラズマ、ラジカル源、各種真空コンポーネンツ等
[日時]
2014年1月29日(水)~31日(金)
[場所]
東京ビッグサイト 東6ホール 小間番号6F-18
[主催]
nano tech 実行委員会
[展示会URL]
http://www.nanotechexpo.jp/
ダイヤモンド合成用CVD装置(900Wハイパワーシステム) ダイヤモンド合成用CVD装置(900Wハイパワーシステム) 左:小型マイクロ波イオン源 EMIS-111Q
左,中央:ダイヤモンド合成用CVD装置(900Wハイパワーシステム)
右:小型マイクロ波イオン源 EMIS-111Q



【中部ものづくり基盤技術展】
この度、中部ものづくり基盤技術展に出展します。
パネル展示がメインとなりますが、期間中技術者が詳しくご説明致します。
お近くの方は、ご来場頂ければ幸いです。

[展示内容]
マイクロ波液中プラズマ、単結晶ダイヤモンド合成CVD、大気圧プラズマ、ラジカル源等
[日時]
2014年2月18日(火)・19日(水)
[場所]
吹上ホール(名古屋市中小企業振興会館)
[主催]
中小企業基盤整備機構 中部本部
[展示会URL]
http://kiban2014.smrj.go.jp/
中部ものづくり基板技術展
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2013.11.29[ 研究成果最適展開支援事業「A-STEP」採択にされました ] 弊社と国立大学法人金沢大学及び独立行政法人 産業技術総合研究所が共同で応募した「半導体ダイヤモンドの開発」が、 独立行政法人科学技術振興機構(JST)の研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)(ハイリスク挑戦タイプ)において、採択されましたのでお知らせいたします。
なお弊社と金沢大学の共同研究においては、JST の平成 22 年度の A-STEP(フィージビリティスタディ 可能性発掘タイプ シーズ顕在化)に続く採択です。
弊社は、10年以上前からダイヤモンドCVD装置の開発及びダイヤモンド合成の研究を進めて来ましたが、本採択により研究をさらに加速いたします。

独立行政法人 科学技術振興機構 [A-STEP 平成25年度第2回募集新規課題 一覧]

金沢大学 理工研究域 サステナブルエネルギー研究センター
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2013.05.28 [当社ダイヤモンド合成用CVD装置の論文が、専門誌に掲載されました]

一般社団法人ニューダイヤモンドフォーラムの発行誌「ニューダイヤモンド」に 当社のダイヤモンド合成用CVD装置の論文が掲載されました。 金沢大学 徳田先生と弊社有屋田が連名で書かせて頂いた論文です。
是非、ご覧ください。
詳細はこちらからどうぞ。
ニューダイヤモンドフォーラムは、CVDダイヤモンドを中心とするニューダイヤモンドの技術開発、 ならびに新用途分野開発に向けて、産学官の研究者・技術者の情報交換・相互研鑽を通して、 ニューダイヤモンドの発展を追及することを目的としている団体です。
本装置は、徳田先生のほかにも、早稲田大学 川原田先生にもお使い頂いています。 詳細はこちらからどうぞ。
本装置については、本Webにも関連記事を掲載しています。
[製品] 単結晶ダイヤモンド合成用CVD装置
[資料館] 技術の紹介 img
2011.09.05 [第33回真空展]

第33回 真空展 Japan Vacuum Show
2011年8月31日(水)~9月2日(金)
弊社ブースへのご来場ありがとうございました。
真空展3日間の来場者数合計は、10,366名でした。
8月31日(水) 3,121名
9月1日(木) 3,725名
9月2日(金) 3,520名
(T.O)
2011真空展 ブース img
2011.09.05 [2011年秋季 応用物理学会]

2011年8月29日(月)~9月1日(木)
多くのご来場ありがとうございました。 (T.O)
2011真空展 ブース img
2009.03.24 [ナノ粒子製造に関するテーマが、NEDOで採択されました。]

平成 20 年度 NEDO イノベーション推進事業エコイノベーション推進事業に、弊社が応募したテーマ「高生産性、低廃棄物なナノ粒子製造法の最適化に関する調査研究」が採択されました。
これは、新しいナノ粒子製造方法を提案し、その実証を行うものです。粒径制御、装置の改良などに多大な成果を上げることが出来ました。
御協力賜りました関係各位には、厚く御礼申し上げます。
本件の採択状況に関しては、 こちらPDFファイルにて確認することができます。(編集子ss) img
2009.01.25 [真空ジャーナル]

真空ジャーナル2009年1月号、24ページ "真空の常識~非常識"のプラズマ源は、弊社が担当させていただきました。 当初、査閲があるとは知らずに「生協の白石さん」をまねて少しふざけた部分を入れておりました。
しかし、当然ですが、その部分は査閲者より修正意見が出され、結果的に体裁が整った文章にしていただきました。 日本中のプラズマの専門家を差し置いて無謀なことをやったものだと、今でも冷や汗が出ます。
是非、御高覧いただければ幸いです。 真空ジャーナル御購読の案内は、
こちらより確認いただけます。 (編集子ss) img
2008.12.20 [SMMIB2009]

SMMIB2009 (16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams : イオンビームによる材料表面の改質に関する国際会議)が、2009年9月13~18日に、東京お台場で開催されます。 弊社は、この国際会議を応援しています。
詳しくは、 こちらを御覧ください。