実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の技術関連ブログ(2015年)

  アリオスの電話番号042-546-4811

 

技術関連2015

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2015.06.26[ 回転導入機 特集! ]

こんにちは、営業技術部 Aです。
前回は、ラングミュアプローブシステム ご購入までの流れを紹介しましたが、
今回は、超小型ながら長寿命で人気 アリオスの回転導入機、3つのポイントをご紹介したいと思います。

回転導入機ならアリオス カスタマイズで直線+回転導入機にも

[アリオス製 超小型回転導入機 RFTシリーズ]

①通常仕様について
通常仕様では、加熱は200度までとなっておりますが、
200度以上でのご使用の場合、高温対応タイプ(260度まで)をお選びいただけます。
(高温対応タイプは、若干トルクが低下します。)
また、通常トルクタイプ,高トルクタイプは、ケーシングの中に希土類マグネットを使用しておりますので、 水素雰囲気中では使用できません。
低トルク型回転導入機は、260度高温、水素にも対応しております。
通常規格品は、在庫があり、即納できる場合もありますので、お気軽にお問合せ下さい。

アリオスの回転導入機は、もちろん自社設計ですので、お客様のご要望に合わせて、カスタマイズができます。
ここで、カスタマイズ例を見てみたいと思います!

*カスタマイズ例*
・モーター駆動
・ロータリーアクチュエータ駆動
・軸長,軸先端形状変更
・フランジ選択

カスタマイズ品の納期につきましては、通常1.5ヶ月~ですが、ご相談の上決定します。

②中空タイプ,2軸タイプ
アリオスでは珍しい中空タイプ、2軸タイプを取り扱っています。
特に、中空タイプは取付フランジ(ICF70)の反対側に設けられたICF34フランジを使い、様々なカスタマイズが可能です。

*中空タイプ カスタマイズ例*
・直線導入機を取り付け、回転+直線の2軸駆動
・ビューポートを取付けて内部観察
・2軸回転導入機を取付けて3軸タイプにカスタマイズ
・電流導入端子と熱電対を取付けて、回転加熱機構に  など・・・

③コンパクトなアリオス社製回転導入機
アリオスの回転導入機は、機能の充実はもちろんですが、なんといっても小型です。
一般的なICF34サイズの導入機と比較してみたいと思います!

軽量な回転導入機ならアリオス カスタマイズ設計も

※1: トルク0.5N・m~1N・mの仕様を想定

ご覧のように、アリオスの回転導入機はとてもコンパクトです。
スペースに制約のある装置には、最適なアリオス製回転導入機・・・少しはお伝えできたでしょうか?

仕様,型式が決まったら・・・
特殊仕様の場合、弊社の技術担当が新規設計します。通常規格品の場合、新規設計はございません。
製品組立完成後、社内検査を経て、いよいよ納品となります!

***
簡単ではありましたが、アリオスの回転導入機のご紹介は以上です。
皆様の製品購入のお役立ちとなれば幸いです。
アリオスは装置設計のノウハウで、お客様に最適な研究開発コンポーネンツを提案いたします。
お問合せ・ご質問は、042-546-4811(お電話)又はお問い合わせまでお願い申し上げます。

(営業技術部 A.M)

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2015.06.03 [ ラングミュアプローブシステム ご購入までの流れ ]

こんにちは、営業技術部 Aと申します。
今回のブログでは、ご用命を多く頂いておりますラングミュアプローブ ご購入」の流れについて、 ご紹介したいと思います!
どのような流れで購入まで至るのだろう、どのようなサポート体制なのだろう・・・など、
少しでもアリオスの製品、サービスをお知らせできれば幸いです。
プラズマ診断 プラズマ計測ならラングミュアプローブシステム

[プラズマ診断 アリオス社製ラングミュアプローブシステム]

1,ご使用環境のヒアリング
お手持ちの装置仕様、成膜有無・成膜速度、取付ポート・測定したい対象の位置関係などをご確認します。
手動測定か自動測定か・・・・お客様の装置において、1番最適なシステムご活用方法を検討します。
弊社の営業がお伺いすることもできます。実機を見ながらのご相談が可能です。

*ここで少しご紹介 自社開発ソフトウェア「LMP-100SCAN」*
このソフトでは、プローブ自動切換と自動測定、プラズマパラメータの自動算出をすることができます。
ノイズに強い直線近似技術と接線法の組み合わせで、高精度の算出能力を持っています。
ソフトにより、短時間での測定が可能となるため、プローブの成膜やスパッタによる測定誤差を最小限に抑えることができます。
実験をより効率的に行いたい、再現性の高い実験を目指す際は、ソフト活用もご検討いただければ幸いです。

2,購入品の仕様の決定
使用環境をふまえ、プローブ形状(直線導入型・屈曲導入型)や先端の長さなど、ご購入品の仕様を決定します。
お手持ちの電源やPCがある場合は、お申し付け下さい。


[ラングミュアプローブシステム ユニット構成]

プラズマ診断 プラズマ計測ならラングミュアプローブシステム
3,お見積提出,ご購入
以上を踏まえ、お見積を提出します。
納期につきましては、おおむね1.5ヶ月~でご相談の上決定します。
納入時の取付、測定に関するオペレーションも承ります。ご希望の際はお申し付けください。

その後、社内では、設計、部材手配、組立、ソフト調整・・・・と納入に向けて動き始めます!

4,納品
社内検査後、いよいよ納品です。ご購入品をまとめて発送いたします。
(取付作業をご希望されていた場合、弊社技術担当がご納入・オペレーションいたします。)

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購入までの流れは以上です。
アリオスでは、仕様やご予算をふまえ、最適なラングミュアプローブシステムを提案します。

研究開発にプラズマ診断を役立てたい、気軽にプラズマ診断を始めたい・・・・
そんなご要望がありましたら、ぜひご相談下さい。
デモ機貸出も行っております。
お問合せは、042-546-4811(お電話)または、お問い合わせまでお願い申し上げます。

プラズマ診断 プラズマ計測ならラングミュアプローブシステム

[電気系社員 組立作業中です]

(営業技術部A.M)
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2015.05.08 [ 導波管の幅を広げる ]

マイクロ波用導波管 は、周波数によって横幅が決まってしまいます。
この横幅は、マイクロ波の自然波長の1/2以上が必要で、それ以下ですとマイクロ波が通過しなくなります。
それでは、逆に広げる場合はどうすればよいでしょうか?
基本的に制限はないので、広げることは可能です。その例を下図に示します。

横幅を広げた導波管

しかし、このままでは、モードが不安定になるので、幅が約1.2λを超えたところで隔壁を設けます。
物質へは、複数の導波管を横に並べたような状態で、マイクロ波照射されます。
隔壁の間隔は、上に書いたとおり、λ/2以上であれば通過しますが、ぎりぎりの値では、損失が大きいなどいろいろ問題があるので、0.6~0.8λぐらいに取ると良いでしょう。
このようにすることで、TE10モードを維持したままのマイクロ波導入が可能です。
上図の導波管の中の隔壁を、下図に示します。左のフランジから中を覗くようにして撮影した画像です。
この例では、およそ2倍に拡幅したので、隔壁は1つです。

隔壁を設けている導波管

(編集子ss)
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2015.04.22 [スリースタブチューナー 製作現場に突入!]

  前回のブログにて、スリースタブチューナー設計者のインタビューを掲載しましたが、
今回はついに…・・スリースタブチューナーの製作現場に潜入したいと思います!

社屋1階の電気グループの作業場では、早速スリースタブチューナーの組立が行われていました。
製作工程では、まず芯とN型コネクタのはんだ付けをします。
そしてここから詳しくお伝えしたいところですが・・・・・・この先は職人技の世界。
製作工程については、極秘との申し出をいただきました。(残念!)
感想としては、製作工程では、微妙な調整作業を行っています。その技術者の作業が、製品の性能を左右しているのです。
そして、完成した製品はこちらです!
スリースタブチューナー コンパクト 同軸 スタブ整合器

[マイクロ波用スリースタブチューナー(同軸タイプ)]

製品完成後は、社内検査です。
ネットワークアナライザーを使い、挿入損失が0.1[dB]以下であることを確認します。
これにより、出力したいマイクロ波を最大の効率で伝送できていることが分かります。
スリースタブチューナー検査成績書

[スリースタブチューナー 検査成績書]

次にマイクロ波漏洩検査です。マイクロ波漏洩検知器を使い、200W を通しているスリースタブチューナーを検査します。
漏洩していないことを確認できれば、社内検査は終了です。 検査を通過したスリースタブチューナーは、その後お客様に納品されます。

これにて、設計~組立・検査、お客様の手元に届くまでの一連の工程は終了となります。
シンプルな構造に見えますが、マイクロ波を扱うので、多方面にわたる想定が必要です。
アリオスでは、自社設計・製造による責任あるものづくりを実践しています。
プラズマに関するコンポーネントは、是非ご相談下さい。

(営業技術部 A.M ※4月より総務部から異動となりました!)
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2015.03.16[ スリースタブチューナー 設計者インタビュー! ]

こんにちは、総務部Aと申します。
アリオスは、プラズマ・真空技術の専門集団として、日々技術を磨いていますが、
同時に、プラズマのキーテクノロジーであるRF・マイクロ波の技術開発にも取り組んでいます。

本日は、使い勝手がいいと評判のアリオス製スリースタブチューナー(同軸タイプ) の設計者にインタビューをしてきました!

スリースタブチューナー コンパクト 同軸 スタブ整合器

[マイクロ波用スリースタブチューナー(同軸タイプ)]

それでは、開発設計を担当した、技術部Tさんにお話を伺いたいと思います。

―マイクロ波用スリースタブチューナーを開発・設計に至った経緯を教えて下さい!
「当時マイクロ波について集中的に勉強していました。そんな中、ある講習で設計に関する様々なヒントをもらったんです。
受講後、いかに挿入損失が少なく、発熱を起こさないスタブチューナーを作りたいなと思い、開発を始めました。」

―講習での勉強が、そのまま製品に結びついたんですね!
「はい。同時に、アリオスのマイクロ波プラズマ源等に、同軸タイプのチューナーが必要となっていました。
大型の導波管タイプでは、小型のプラズマ源にマッチしないので。」

―そこで、同軸タイプのスリースタブチューナー開発に至ったのですね!こだわった設計のポイントなどあれば教えてください。
「まず、接触面の設計、それから材料選定。完成までには、何度も試作を作りました。」

―アリオスのスリースタブチューナーは、特にコンパクトですよね。
「ケーシングとネジの接触は、特に工夫しました。結果、ケーシングを短くすることに成功しました。(ここは設計の秘密だそう)
完成はしましたが、その後も、改良を続けているんですよ。
う~ん、ちょっと待って、これを設計したのはいつの話だろう・・・(図面を見てみる)・・・98年!!そんなに昔だったのか・・・。」(かなり驚いている)

―98年ですと、17年前!その間、改良のペースはどの程度なのでしょうか?
「お客様のご要望や社内での検討を生かし、これまでに6回は改良しています。
今は電気系グループの若手が新しいスリースタブチューナーを開発しているんですよ。さらに小型化を目指しています。」

―新たに開発しているとは・・・技術部の探究心には驚きです!
今日はありがとうございました。 最後に一言メッセージがありましたら、よろしくお願いします。
「これからもお客様に使いやすいコンポーネントを提供したいと思っています。
そして社内のみんな・・・・講習で学んだことは形にして、生かしましょう!」

ありがとうございました!
新しいスリースタブチューナー(同軸タイプ)も開発中だとは、驚きです。
そして、講習で学んだことは生かせ・・・なんと胸に刺さる言葉・・・日々頑張ります!

これからも、真空・プラズマ技術の装置メーカーとして、使い勝手のよいマイクロ波技術をご提供できれば幸いです。
次回ブログでは、実際に社屋1階に行き、スリースタブチューナーの製作過程をご紹介したいと思います。
どうぞお楽しみにください。

*関連リンク*
製品ページ:同軸ケーブル用スリースタブチューナー TSTB-201A
製品ページ:プラズマユニット 一覧

(総務部 A.M)