実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社 「資料館」

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資料館

アリオス資料館の目次

真空

真空の常識と非常識・・・意外知らないことがある真空の常識非常識を分かりやすく解説
圧力の単位と換算ツール・・・真空度と単位を入力すると換算するツール
真空ポンプの種類・・・低真空ポンプ、高真空ポンプについてのうんちく
超高真空に追い込むには・・・所定の真空度まで到達しない理由、超高真空を支える裏方作業"ベーキング"
真空の威力・・・ビューポートが破壊された様子を解説
参考書籍のご紹介・・・真空とプラズマに関する参考書籍のご紹介
圧力の換算電卓・・・Windows 対応のフリーソフトウェア
流量の単位と換算・・・ccm、sccm、lsmなど流量を換算できるツールと Cv値を sccmに変換する方法

プラズマ

プラズマに関しての実践的テクニック・・・技術屋からみたプラズマの作り方
ラングミュアプローブ・・・ラングミュアプローブ測定での実践的な内容を解説
水素の発光スペクトル・・・可視領域の代表的な発光スペクトルの解説
窒素分子の発光スペクトル・・・窒素発光スペクトルの解説

液中プラズマ

液中プラズマ・・・マイクロ波励起の液中プラズマに関する解説
マイクロ波液中プラズマによる白金担持触媒製造・・・燃料電池を試作し、良好なデータが得られています。

大気圧プラズマ

大気圧プラズマの基本技術・・・大気圧プラズマの基本を一覧にして解説
マイクロ波大気圧プラズマ源の開発・・・大気圧プラズマ源の設計~実験に至るまで
大気圧プラズマ源 試作ラインナップ・・・直線状の出射口など、試作の数々を紹介

イオンビーム

イオンビームとその応用・・・イオン注入法を用いた表層改質に関しての解説
SRIM/TRIM・・・イオン注入シュミレーションソフトウェアを日本語Windows で使用する方法を紹介

マイクロ波

マイクロ波・・・家庭で起こりうるマイクロ波の扱いなどうんちく掲載
円偏波への変換・・・直線偏波から円偏波へ変換する方法
可変アイリス・・・導波管の共振構造からアイリスの構造を紹介

窒化膜

窒化膜生成・・・高品質な GaN膜を作成するためのセルとラジカル源の交互動作について

ダイヤモンドCVD

ダイヤモンド合成用プラズマCVD装置・・・当社ダイヤモンド合成用プラズマCVD装置について解説

その他、開発及び試作資料

その他、開発及び試作資料・・・カタログ掲載には至っていない少数生産の製品群