実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社 「大気圧プラズマ源試作ラインナップ」

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大気圧プラズマ源 試作ラインナップ

直線型大気圧プラズマ源 直線型大気圧プラズマ源幅広タイプ

[左:直線型大気圧プラズマ源 / 右:直線型大気圧プラズマ源 (幅を広く改良)]

直線型大気圧プラズマ源

出射口を直線状にした大気圧プラズマ源のアプリケーション開発も行っています。
直線型大気圧プラズマ源右記の画像のプラズマ源は、幅84mmの出射口があります。プラズマ源を2段構成とすることにより、点火性、制御性が極めて良くなり、マイクロ波電力も200Wぐらいからのプラズマ生成が可能となりました。熱に弱い試料に対しても表面処理が可能です。
このプラズマ源については、2003年秋期応用物理学会講演会において発表しました。

直線型大気圧プラズマ源 (幅を広く改良)

上記の直線型プラズマ源を縦列に接続し、連続的な直線プラズマ源が製作できることを確認しました。 横に何段でも接続が可能ですから、横幅の制限はありません。
この成果は、2004年マイクロ波効果・応用国際シンポジウム において発表しました。

関連ページ

製品ページ:大気圧プラズマ実験装置
資料館:マイクロ波大気圧プラズマ源の開発
資料館:大気圧プラズマの基本技術
技術関連:オリジナル技術

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