実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社 「超高真空に追い込むには」

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超高真空に追い込むには

所定の真空度まで到達しない理由

アリオスの 超高真空チャンバー は、迅速に到達真空度まで排気できます。その理由は手を抜くことの無い準備にあります。
チャンバーが所定の真空度まで到達できない原因は 2つあります。

  1. 溶接の不備などによる漏れであるリーク
  2. 容器表面からの脱離によるガス放出

アリオスのチャンバーは、この 2つを徹底的に排除しています。 それは溶接作業後、全ての開口部を塞ぎ、徹底的な リークチェック が行われます。 そして、容器表面の汚れを落とすため、徹底的な洗浄作業を行います。 洗浄されたチャンバーは、さらに電解研磨などの工程を経て組み上げられます。

ベーキングの苦労

次に行われるのはベーキング作業です。装置全体にヒーターを巻き付け、所定の温度に上げて容器表面に吸着したガス分子を脱離させます。その温度は 200℃にもなり、さながら大型の暖房器具です。 作業後の温度は上昇し、真夏には 40℃になることもあります。万が一の事故のため、監視員が常に作業場で待機していますので、まるでサウナに徹夜で入っているようなものです。
このようにして、到達真空度を確認した装置のみが、お客様のところへ出荷されます。
分子線セル、k-セルなどの真空コンポーネントにおいても、お客様の装置に取り付けてすぐに使用できるよう、いくつもの作業が重ねられます。 組立後、入念なチェックが行われ、ベーキング作業を行い、検査に合格したセルのみが特製の真空容器に納められ、真空状態でお客様に届けられます。
このようにアリオスの装置が迅速に排気できるのは、魔法ではなくアリオス独自のノウハウに基づき、手を抜かずに一つ一つの作業を積み重ねていった証拠でもあります。

液体窒素なしの状態でも-9乗台まで到達可能
写真1:液体窒素なしでも 10-9Pa台が可能
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