電源及びプラズマ化するガスを接続するだけで実験が可能な、大気圧プラズマ実験装置です。
アリオスの大気圧プラズマ実験装置は、強力な点火装置と電子発生源を装備することにより、確実な点火を実現しました。
従来の大気圧プラズマのように、点火が困難で、ガスや実験条件が制限されることがありません。
RF励起・非平衡プラズマなど、仕様に合わせた大気圧プラズマ源の製作も承ります。
(装置は連続的にマイクロ波を供給しているために、プラズマは熱プラズマとなります。)
熱平衡プラズマと非熱平衡プラズマの概要については大気圧プラズマの基本技術をご覧下さい。
| プラズマ室 | φ20mm石英ガラス |
| マイクロ波出力電力 | マイクロ波出力電力0～1kW連続可変 (2.45GHz±50MHz) |
| ガス流量 | ～60L/min (ガス種に関しては下記のガス種部分をご参照下さい) |
| 用力 | AC200V3相10A 50/60Hz(配電盤接続) AC100V単相5A 50/60Hz(コンセント接続) |
| 構成 | 本体 W570mm×D710mm×H1740mm、点火装置、 マグネトロン電源(JISラックH200mm) |
ガス種に関しては、窒素、アルゴン、ヘリウムでの動作を確認しております。
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| 窒素による放電 | アルゴンによる放電 | ヘリウムによる放電 |
規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。
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