実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の大気圧プラズマ実験装置

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大気圧プラズマ実験装置 ATMP-1000

概要

電源 及び プラズマ化するガスを接続するだけで実験が可能な、大気圧プラズマ実験装置です。
アリオスの大気圧プラズマ実験装置は、強力な点火装置と電子発生源を装備することにより、確実な点火を実現しました。 従来の大気圧プラズマのように、点火が困難で、ガスや実験条件が制限されることがありません。 RF励起・非平衡プラズマなど、仕様に合わせた大気圧プラズマ源の製作も承ります。 (装置は連続的に マイクロ波 を供給しているために、プラズマは熱プラズマとなります。)
熱平衡プラズマと非熱平衡プラズマの概要については 大気圧プラズマの基本技術 をご覧下さい。

特徴

  1. 排ガス処理、発光微量分析、表面処理、成膜、ナノ粒子作成に最適な大気圧プラズマ装置
    →ナノ粒子製造や白金担持触媒の製造に関しては マイクロ波液中プラズマによる白金担持触媒製造 をご覧下さい。
  2. シンプルな構成による高いメンテナンス性
  3. 点火装置による高いプラズマ点火性
    (※ガス種などについて制約条件があります。ご相談下さい。)

仕様

プラズマ室 φ20mm 石英ガラス
マイクロ波出力電力 マイクロ波出力電力 0~1kW 連続可変 (2.45GHz ± 50MHz)
ガス流量 ~60 L/min
(ガス種に関しては下記のガス種部分をご参照下さい)
用力 AC200V 3相10A 50/60Hz (配電盤接続)
AC100V 単相5A 50/60Hz (コンセント接続)
構成 本体 W570mm×D710mm H1740mm、点火装置、
マグネトロン電源 (JISラック H200mm)

外観寸法図

大気圧プラズマ中で使用できるガス

ガス種に関しては、窒素、アルゴン、ヘリウムでの動作を確認しております。

窒素による放電アルゴンによる放電ヘリウムによる放電
窒素による放電アルゴンによる放電ヘリウムによる放電

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。
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