実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のビームフラックスモニター

  アリオスの電話番号042-546-4811

 

ビームフラックスモニター

ビームフラックスモニター BFM-2F01

概要

ビームフラックスモニター BFM-2F01は B-Aタイプの小型ゲージをセンサーとし、分子線のビーム強度を測定するものです。
アリオスのビームフラックスモニターは、最適な材料、構造、表面処理によりガス放出が極めて少なく、精度の良い測定が可能。
また、標準品以外にも様々な用途に合わせたご要望にも対応致します。

特徴

  1. 溶接ベローズ駆動による直動機構 (標準ストロークは 260mm) を内蔵しています。
    ストローク長は、仕様に合わせてカスタマイズ可能です。ご相談下さい。
  2. 直動機構の駆動は手動 (ハンドル付き) 、自動 (モーター駆動) どちらでも選択可能です。
  3. 200℃までのベーキングが可能です。 MBE装置 などの各種装置に搭載が可能です。
  4. 専用に開発した B-Aタイプ小型ゲージをセンサーとして用い、センサー部の省スペース化に成功しています。
  5. 長寿命設計で、コストパフォーマンス効果。ゲージセンサー部に、シールドカバーを装備し、外部からの金属汚染を避けています。
  6. フィラメントを2本装備しています。
  7. 専用のフラックスモニターはアナログ出力 (0-10V) により、レコーダーへの記録が可能です。
  8. ゲージケーブルの端末処理はカスタマイズにより、既存の真空計をそのままモニターとして使用可能です。
    対応機種詳細はお問い合わせ下さい。

ビームフラックスモニター 仕様

型式 BFM-2F01
真空シール 溶接ベローズ
センサー B-A タイプ小型ゲージ
駆動方法 台形ネジによる直進移動 (手動)
直動ストローク 260mm (標準)
取り付けフランジ φ114CF
ベーキング温度 MAX 200℃ (駆動部含まず)

外観寸法図

オプション

  • -01 : モーター駆動
  • -02 : モーターコントローラ
  • -03 : ストローク長変更
  • -04 : フランジ変更
スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。