実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社。チャッキングトランスファー

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チャッキングトランスファーロッド

チャッキングトランスファー 2TRWシリーズ

概要

このトランスファーロッドは、強力な磁気回路により大気側から回転、直線運動を真空内へ伝える導入機です。
2軸構造のマグネットカップリングによりチャッキング操作が行えます。超高真空装置の試料交換等に最適です。

特徴

  1. 試料交換に最適なチャッキング機構のついた、トランスファーロッド
  2. オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。
  3. MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空用に最適です。
  4. 取り付けは φ70CF 仕様です。
  5. 最適な磁気回路設計により高トルクです。

チャッキングトランスファー 仕様

型式 (ストローク量を御指定下さい) 2TRW70-×××
ストローク 300~1000mm
共通仕様 フランジ : φ70CF
ベーキング温度 : 最高 200℃
リーク量 : 6.7×10-11 Pa・m3/sec 以下
取付方向 : 水平 (垂直仕様はご相談下さい。)
直進駆動伝達力 : 90N (MAX)
回転駆動伝達トルク : 3N・m
たわみ量 (例) : 2mm (ストローク 500mm、先端荷重 500g、取付方向水平の時)
軸受け部 : ステンレスベアリング
マグネット材質 : Nd-Fe-B 系

※直動駆動のみをご要望の場合には型式末尾にLを付けて下さい。 例 : 2TRW70-×××-L

外観寸法図

オプション

アシストアーム アシストアームストローク駆動を手元で操作するアシスト機構です。
モーター駆動 御指定のモーターに合わせた設計も可能です
250℃ 耐熱仕様 250℃ 耐熱仕様のマグネット (Sm-Co系) を使用します。
(標準仕様に比べ伝達トルクが10%低下します)

※規格品以外のストローク、その他先端形状等特殊仕様対応可能です。

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。