実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の超高真空チャンバー

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超高真空チャンバー

超高真空チャンバー

概要

超高真空に追い込むには 手を抜かずに一つ一つの作業を積み重ねていくことが重要です。
当社製超高真空チャンバーは材料の選択、溶接の手法、表面処理を追求し、ガス放出の極めて少ないクリーンな真空が得られます。様々な用途向けに自由な設計が可能です。 CADを駆使し、お客様のニーズに最適な形に設計、製造致します。
また非磁性、軽量のニーズ用に 100% チタン製チャンバーを開発しました。
超高真空 では超高真空の定義や圧力について簡単に説明しております。ぜひご併せてご覧下さい。

仕様

材料 SUS 304、SUS 316L、チタン
フランジ CFフランジ、JISフランジ、KF (NW) フランジ
溶接 TIG 溶接
脱ガス処理 必要に応じて、真空加熱による脱ガス処理を行います。
表面処理 電解研磨処理が標準です。
ベーキングヒーター 必要に応じてシースヒーター、熱電対を取り付けます。

オーダリングインフォメーション

必要なポート数、大きさ等をお知らせ下さい。速やかにお見積もり致します。
※標準仕様以外にも、要求仕様に応じて設計製作致します。 ぜひ一度 お問い合わせ 下さい。
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オプション

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。