実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社。ロードロックハッチ

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観察窓付きタイプのロードロックハッチ(Vタイプ)

ロードロックハッチ EDシリーズ

概要

EDシリーズは、真空システムにサンプルなどを導入するために使用するロードロックドアです。真空容器を大気開放した状態でのものの出し入れ、真空容器内へサンプルを取り付けるなど、装置の調整で手や治具を入れる場合に使う開放式の蓋です。
本器は工具を必要とせず、手動式のノブで固定する方式になっています。本器がない場合、フランジを工具で開けることになりますので、手間がかかる、ガスケットの交換が必要になるなど色々と厄介です。 但し、Oリングを使用しているため、金属ガスケットを使うフランジと比較し、到達真空度が低くなることがあります。分子線エピキタシー装置 (MBE) の成膜チャンバーなどにはお勧めしません。この場合の試料の脱着には、ロードロック室などのご検討をお勧めします。

特徴

  1. 小型軽量化した設計により、取り付け場所を選びません。
  2. フッ素ゴムシールにより高真空対応です。
  3. 150℃ までのベーキングが可能です。
  4. φ114~φ305CF に直接取り付けられます。
  5. 各サイズ窓付き、窓なしタイプがあり、窓材は石英ガラスなどがオプションで選択できます。
  6. JISフランジや特殊フランジ形状の製作も可能です。

仕様

型式 ED 114V ED 114VB ED 152V ED 152VB ED 203V ED 203VB ED 253V ED 253VB ED 305V ED 305VB
フラ
ンジ
φ114CF φ152CF φ203CF φ253CF φ305CF
有効
視径(mm)
φ30 N/A φ55 N/A φ100 N/A φ140 N/A φ140 N/A
開口径 (mm) φ64 φ99 φ149 φ198 φ248
質量 (g) 1060 1085 1435 1500 2020 2235 3520 3990 7475 8270
共通
仕様
シール材質 : フッ素ゴム (ハッチ、窓)
窓材質 : テンパックスTM(標準品)、 石英 (オプション)
許容加熱温度 : 最大 150℃
リーク量 : 1.3×10-8 Pa・m3/sec 以下

外観寸法図

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。