アリオス株式会社 ロードロックハッチ

ロードロックハッチ EDシリーズ

概要

EDシリーズは、真空システムにサンプルなどを導入するために使用するロードロックドアです。真空容器を大気開放した状態でのものの出し入れ、真空容器内へサンプルを取り付けるなど、装置の調整で手や治具を入れる場合に使う開放式の蓋です。
本器は工具を必要とせず、手動式のノブで固定する方式になっています。本器がない場合、フランジを工具で開けることになりますので、手間がかかる、ガスケットの交換が必要になるなど色々と厄介です。 但し、Oリングを使用しているため、金属ガスケットを使うフランジと比較し、到達真空度が低くなることがあります。分子線エピキタシー装置(MBE)の成膜チャンバーなどにはお勧めしません。この場合の試料の脱着には、ロードロック室などのご検討をお勧めします。

特徴

1. 小型軽量化した設計により、取り付け場所を選びません。
2. フッ素ゴムシールにより高真空対応です。
3. 150℃までのベーキングが可能です。
4. φ114～φ305CFに直接取り付けられます。
5. 各サイズ窓付き、窓なしタイプがあり、窓材は石英ガラスなどがオプションで選択できます。
6. JISフランジや特殊フランジ形状の製作も可能です。

仕様

参考資料

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。

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