実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のマイクロ波イオン源

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マイクロ波イオン源 EMIS-211C

マイクロ波イオン源 EMIS-221C

概要

EMIS-221Cはセラミック放電管タイプで、チャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起イオン源です。 超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られます。イオンドーピング、エッチング、成膜アシスト用途に最適です。

特徴

  1. プラズマ室は高純度アルミナ製で、金属汚染の少ないイオンが得られます。
  2. 完全金属シール構造により、MBE装置 など各種超高真空装置に使用可能です。
  3. 加速用高圧電源 (オプション) の使用により、イオン加速が可能です。(ラジカル源、プラズマ源としても使用可能です。)
  4. マイクロ波 は同軸ケーブルにて供給されますので、面倒な導波管接続が不要です。
  5. シーケンサやパソコンによる外部制御が可能です。
EMIS-211Cによるイオンビーム電流密度分布測定データ

仕様

本体仕様

型式 EMIS-221C
最大出射口径 50mm
ベーキング 最大 200℃ (導波管部は最大 60℃)
ガス導入系 φ34CF ポート 2系統
接続フランジ φ114CF
冷却方法 強制空冷 (冷却水は不要)
点火装置 高電圧パルス印加タイプ (自動)
質量 5.5kg

外観寸法図

200W マイクロ波電源仕様

型式 MP-201B
電源入力 単相 AC200V±10% 50/60Hz 又は 単相 AC100V±10% 50/60Hz (工場出荷時設定)
最大消費電力 490W (AC200V)、470W (AC100V)
出力周波数 2450MHz ± 50MHz
最大出力電力 200W
発振方式 マグネトロン自励発振
制御方式 アノード電流可変 (定電流) 方式
冷却方法 強制空冷
表示 アノード電流、入射波、反射波
出力方式 N型同軸コネクタ (N-R)
保護機能 外部インターロック
最大出力リミッタ (200W)
電源スイッチ併用ブレーカ (5A (200V))、(10A (AC100V))
上面パネル・ドアインターロック
マグネトロン過熱防止サーモスイッチ
質量 17.5kg (AC200V 仕様)、13.5kg (AC100V 仕様)
標準添付品 スリースタブチューナー、同軸型出力ケーブル (5m)、イグナイターケーブル (5m)、
ファンケーブル (5m)、オプトケーブル (5m)、AC 入力ケーブル (3m)、ローカルコネクタ 1式

標準構成

オプション

2kV イオン加速電源

型式 3ACCPS2-30
電源入力 単相 AC90~250V 50/60Hz
最大入力電流 4A
出力 (2極比率出力) アクセル電極 -500V 8mA 比率変更可能
スクリーン電極 2kV 30mA
出力電圧 0~+2000V
出力電流 0~30mA
保護機能 外部構成によるインターロック出力短絡保護
質量 8 kg
その他の機能 リモート ON/OFF
外部電圧による出力電圧コントロール
電圧電流モニター (アクセル電極は電圧のみ、スクリーン電極はそれぞれ可能)

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。