実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のインターロックバルブ

  アリオスの電話番号042-546-4811

 

インターロックバルブ ILV-01シリーズ

概要

インターロックバルブ  ILV-01シリーズ

ILV-01型インターロックバルブは、通常は手動バルブとして使用でき、停電時などには自動的にクローズするユニークな機能を持ちあわせたバルブです。 排気系の安全対策・停電対策に最適です。
ポンプ電源 (AC90 ~ 260V) に接続するだけで、ポンプの停止と同時にバルブが閉じ、真空容器などを真空保管します。

特徴

  1. 通電中は手動バルブとして機能します。
  2. 電源のみで動作し、圧縮空気は不要です。
  3. コンパクト設計により、取り付け場所を選びません。
  4. 電源入力電圧が、AC90~260Vまで切り替えをせずにご使用頂けます。
  5. 排気セット やリークディテクターのメインバルブに最適です。
  6. タイミングリークバルブ(TLV-02) と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です。

使用方法

付属の電源コネクターに電源を接続し、電源を入力すると手動バルブ操作が可能です。
バルブ開時に電源を切断すると、瞬時にバルブが閉じます。(通電後、手動にて一度閉動作することで、開動作が可能になります。)

標準構成

  • ILV-01 本体 1式
  • 入力ケーブル (2m) 1式

型式指定方法

フランジの仕様により、2タイプご指定頂けます。
下記指定方法より型式をご指定下さい。 アリオスインターロックバルブの型式指定方法

排気系構成例

真空ポンプ・インターロックバルブ・タイミングリークバルブの排気系構成例

仕様

使用圧力 大気圧~10-7 Pa
弁座漏れ 6.7×10-11 Pa・m3/sec 以下
使用周囲温度 0~50℃
取付姿勢 指定なし
フランジ CF 70、NW 40 (特別仕様可)
全開時コンダクタンス 25 L/sec
バルブボディ材質 SUS 304
シール材質 フッ素ゴム
動作時間 約 0.1 sec
電源入力 AC 90~260V 0.2A
ライフサイクル 1万回 (常温で使用)
質量 2.3 kg (CF 70タイプ)
2.0 kg (NW 40タイプ)

外観寸法図

関連情報

関連製品
排気セット MVPS
タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ
関連ページ
ご紹介 第1弾-インターロックバルブ スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。