実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のRFラジカルビーム源 IRFS-301

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RFラジカルビーム源 IRFS-301

RFラジカルビーム源 IRFS-301

概要

IRFS-301 は IRFS-504 と比較してスリム・低出力のラジカルビーム源です。 しかも、IRFS-504 よりもお求めやすい価格設定になっております。最大300Wの電源を搭載しています。
基本的な構成は IRFS-504 と同じで、放電部、引き出し部は高純度 PBN (窒素用) で製作しており、活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子・ラジカルビームを得ることができます。
窒化膜の生成については 窒化膜生成 をご覧下さい。

特徴

  1. 放電が目視確認できるビューポートを標準装備しております。
    発光モニターや分光器を使用して、放電状態・励起状態を確認できます。
  2. 完全金属シール、200℃ベーカブル対応により MBE装置 など、各種超高真空装置に使用可能です。
  3. 分子線セルポート取付を前提に設計されているため、往来型の MBE装置に増設できます。

仕様

本体仕様

型式 IRFS-301
放電室 PBN製 (又は 石英製-酸素用)
最大出射口径 φ15mm
ベーキング 最大 200℃ (整合器ケーブル除く)
ガス導入口 1⁄4 VCRTM オス
接続フランジ φ114CF
整合器 自動整合器
冷却方法 ラジカル源部 : 水冷 (0.5 L⁄min 以上)
1⁄4 SwagelokTM 又は Rc 1⁄8 接続
整合器部 : 強制空冷
質量 9.5 kg

外観寸法図

電源仕様

型式 RP-301
電源入力 100~240V AC単相 50/60Hz (出荷時設定)
最大消費電力 450W
出力周波数 13.56MHz ± 1kHz
出力電力 0~300W (300W 連続)
出力コネクタ BNC
リモート出力制御
出力表示モニタ出力 デジタル表示
0~5V DCリニア出力
冷却方法 強制空冷
保護機能 過負荷保護機能
高反射による出力制限
外部インターロック
質量 2.9 kg
標準添付品 出力ケーブル (7m)、電源ケーブル (3m)、冷却水用インターロックケーブル (7m)

標準構成

オプション

ラジカルビーム源 ・イオンキャンセル電極
・電源
2枚電極に ±500V 印加し、イオン・電子をキャンセルします。
バリアブルリークバルブ、MFC ガス導入系に制御機器が増設可能です。
ガス種、ガス流量等ご注文時にご相談下さい。
分光器 放電スペクトルをモニターします。
制御ソフト RP-322用 RF制御ソフト、RFコントローラ PCにより、RF電源と整合器を制御し、
プラズマを精密にコントロールします。
ケーブル ケーブル延長
※ご注文時お問い合わせ下さい。
電源本体、整合器間の出力、コントロールケーブルの延長

高品質窒化膜生成用AM変調システム

MBE装置において、分子線セルシャッタータイミングとラジカル源のRF電力を制御し、励起プラズマモードを適切に選択することにより、高品質な窒化化合物エピタキシャル成長膜形成が可能になります。
このシステムは設定に従いRF電源の出力を HIGH/LOW に繰り返し制御します。繰り返し時間・タイミングの設定も可能です。また、整合器を制御し、ミスマッチングを防止します。
参考資料

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。