実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のシングルラングミュアプローブ

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シングルラングミュアプローブ  LPMシリーズ

シングルラングミュアプローブ LPMシリーズ

簡便にプラズマ診断 (計測) を行う方法の1つ、ラングミュアプローブ法。
プラズマ中に探針を挿入し、その電圧電流特性を測定・解析し、プラズマパラメーター を得ることで、プラズマの電子温度、プラズマ密度を診断します。 電流電圧特性の解析については データの解析 をご参照下さい。

LPMシリーズは単針型のラングミュアプローブ式プラズマ測定ユニットであり、最も基本的な形状になっています。
専用処理ソフトにより市販の 4象限電源を制御し、処理を自動化することで電子温度、プラズマ密度測定の利便性を最大限に追求しています。
プラズマ診断に関するよくあるご質問を ラングミュアプローブ(プラズマ診断)Q&A にまとめています。
どのような装置・条件でプラズマ診断を考えているのかなど使用環境をふまえ、プローブ形状や仕様を決定しますので、ぜひお気軽にご相談下さい。

特徴

  1. 専用処理ソフトにより高速測定が可能になり、成膜装置での使用も可能です。
  2. 真空容器内で直線移動が可能です。(Oリング軸シール式)
  3. 取付予定の装置にあわせ、ストロークなどの選定が可能です。
  4. 関節を設けた屈曲型をラインナップ。先端を任意で曲げることが可能です。
  5. アルミナ管及びプローブを容易に交換することが可能です。
  6. 市販の 4象限電源を使用することが可能です。
  7. 屈曲型には回転機構付きもラインナップしており、より広範囲での測定が可能です。
  8. RFノイズ対策用にフィルターをご用意。(オプション)
  9. モーター付の自動駆動タイプもご用意。(オプション)

仕様

本体仕様

型式 LPM-100S (直進型) LPM-100SB (直進屈曲型) LPM-100RB (回転屈曲型)
挿入ストローク 50~500mm (標準200mm) ※500mm以上はご相談下さい。
最小挿入長 50~200mm
接続フランジ φ70CF (標準)
プローブ材質 タングステン
プローブ径 φ1.5mm (標準)
コネクタ BNC
ケーブル 3m
保管容器 アクリル保管容器

外観寸法図

※直進型はプローブが直線方向にのみ移動可能なタイプです。
※直進屈曲型は直進型に加えて、先端に折り曲げ可能な関節構造を搭載し、取り付けフランジの軸方向から外れた位置の計測が可能になります。
※回転屈曲型は直線屈曲型に加えて、プローブ自体を回転できるようにしてあり、軸に対し円周状の位置を測定できます。
貸出やデモ等も承っております。

システム構成

ラングミュアプローブシステム構成図

自動測定構成

自動測定構成 (自動駆動制御) (オプション構成)

  • シングルラングミュアプローブ+コントローラ電源
  • ソースメジャーユニット (推奨電源)
  • 処理ソフトウェア LMP-100SCAN +PC、GPIB コントローラ
手動システム・自動システムのユニット構成については
ラングミュアプローブシステム ユニット構成 をご覧下さい。

推奨電源

  • 横河電機社TM 製 GS610 電圧電流範囲 ±110V.±500mA
  • ADC社TM 製 6243 電圧電流範囲 ±110V.±500mA
  • ケースレー社TM 製 2400 電圧電流範囲 ±200V.±100mA
  • ケースレー社TM 製 237 電圧電流範囲 ±100V.±100mA

オプション

プローブ材質 プラチナ、その他に変更可能です。
RFノイズ対策 RFフィルターユニット(標準 13.56MHz)
※その他の周波数についてはご相談下さい。
位置読み取り ミツトヨ製TM デジタルスケール
自動駆動制御ラングミュアプローブ モーター駆動
※LMP-100SCAN との併用を推奨
※回転には未対応
変換フランジ 各種

自動駆動制御ラングミュアプローブ

モーター付のラングミュアプローブです。
処理ソフトウェアとの組み合わせにより、希望の測定ピッチ、測定点数を登録するだけでラングミュアプローブの駆動から測定までを全て自動で制御することができます。これにより、より短時間での測定が可能です。

※測定ソフトを追加する場合、別途駆動用PCが必要となります。 PCの動作環境についてはお問い合わせ下さい。

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。