実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のメンテナンス・改造

  アリオスの電話番号042-546-4811

 

メンテナンス・改造

概要

アリオスではお客様の装置のメンテナンスや改造を承っております。
真空・プラズマ装置、半導体製造装置、プラズマ源等のコンポーネントのメンテナンス・改造など何でもご相談下さい。
移設 に合わせてのメンテナンス・改造も承っております。
実際にご相談頂いた事例を アリオスのソリューション に掲載しています。

メンテナンス及び改造例

装置排気系改造 排気速度のアップ、排気系のオイルフリー化、ベーキングヒーター、シュラウドなど追加
装置のグレードアップ バルブの自動シーケンス制御、ロードロック室の追加、
試料ホルダーの基板サイズや温度制御範囲の拡大、運動自由度アップ
オーバーホール チャンバー及びコンポーネントの洗浄及びオーバーホール、
仕様変更、真空到達速度、到達真空度の向上を目的としたオーバーホール、
Ⅱ-Ⅵ 族用 MBE装置 をオーバーホールして、Ⅲ-Ⅴ 族用に変更など

上記のメンテナンス及び改造例はほんの一部です。装置は国内メーカー、海外メーカーのほとんどに対応できます。
その他様々なご要望に応じておりますので、ぜひ一度お問い合わせ下さい。

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。