アリオスではマイクロ波を用いたプラズマ実験装置の製作を承っております。プラズマ源やマイクロ波電源を含め、全て自社設計する当社だからこそ可能な柔軟設計により、お客様の要求仕様に応じて設計、製造致します。
DLC膜、カーボンナノチューブ、プラズマ殺菌、真空紫外照射、その他のプラズマ暴露実験ができるマイクロ波実験装置など、多種に渡り製作が可能です。
プラズマについてはプラズマに関しての実践的テクニック、プラズマ Q＆Aで詳しく説明しております。ぜひ併せてご覧下さい。
| プラズマ源 | 石英導波管直交方式 |
| マイクロ波出力電力 | 0～1000W (2.45GHz ± 50MHz) |
| 基板 | φ20mm 基板対応 |
| 真空計 | コールドカソードピラニ－ゲージ、キャパシタンスゲージ |
| 到達真空度/到達圧力 | 5.0×10-4 Pa以下 (ターボ分子ポンプ使用時) |
| リーク量 | 1.0×10-8 Pa・m3/sec以下 (Oリング 透過分を除く) |
| ガス種 | H2 、Ne、N2 、Ar、O2 、CH4 、etc... |
| 試料交換 | 交換用ハッチ |
| 基板上下機構 | ストローク 235mm |
| 基板加熱機構 | 最高加熱温度 1000℃ |
| 本体架台 | キャスター、アジャスター付き (電源部を含む) 重量 約150kg |
| 用力 | AC100V 20A、AC200V 3相 20A
プロセスガス：SwagelokTM 1/4 又は VCRTM 1/4 |
※標準仕様以外にも、要求仕様に応じ設計製作致します。
→研究開発受託業務・コンサルティング
アリオスのソリューション
規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。
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