実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の超小型回転導入機

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超小型回転導入機

超小型回転導入機 RFTシリーズ

概要

大気側の回転運動を真空中に伝える部品です。これを回転導入機と呼んでいます。回転導入機には大きく分けて、軸を Oリングで封止する、ベローズを使う、磁気結合を使うタイプの 3種類があります。
本機は磁気結合を使うタイプであり、超高真空 にも使えること、長寿命である点がこのタイプの利点です。さらに本機の特長は、強力な希土類磁石を用いた磁気結合構造により、連続高速回転に使用できる点です。なお、摺動部はベアリングのみであり、これを交換するだけで半永久的に使用できます。
磁気でカップリングしていますので、大きなトルクがかかると脱調を起こすことがあります。これは欠点でもありますが、動かす側を過大なトルクから保護するという使い方もできます。

特徴

  1. 小型化設計にて取り付け場所を選びません。共通部品を多く採用し、ローコスト設計です。
  2. 磁気結合構造により長寿命です。
  3. 200℃までの高温ベーキング対応。(NWフランジタイプは150℃)
  4. 用途によりトルクの選択が豊富です。
  5. 多彩なオプションを設定。(260℃高温タイプ、圧空駆動、モータ駆動等)
  6. 特殊軸形状の製作も可能です。
超小型回転導入器  RFTシリーズ02

仕様

RFTシリーズの特徴や仕様の違いについては 回転導入機 特集! でも取り上げています。
型式 RFT 34B RFT 34S RFT 34D RFT 34T RFT 3470S RFT 70S RFT 70D RFT 7034S
フランジ φ34CF φ70CF
タイプ 低トルク 通常トルク 高トルク 通常トルク2軸 通常トルク 高トルク 超高トルク 高トルク中空
(φ34CF取りつけ中空型)
軸径 φ6 φ9 / φ4 φ6 φ12 φ12 N / A
伝達トルク (Nm) 0.15 0.7 2.0 各軸 0.7 0.7 2.4 6.4 2.4
許容加熱温度 200℃
質量 (g) 260 220 310 360 500 1220 1250 1160
共通仕様 <材質>
回転軸 : SUS 403
ケーシング : SUS 304
ローター : SS 400、ニッケルメッキ
マグネット : 希土類マグネット
リーク量 : 6.7×10-11 Pa・m3/sec 以下

型式 RFT 3416B RFT 3416S RFT 3425B RFT 3425S RFT 3440B RFT 3440S RFT 7040
フランジ NW16 NW25 NW40
タイプ 低トルク 通常トルク 低トルク 通常トルク 低トルク 通常トルク 高トルク
軸径 φ6 φ12
伝達トルク (Nm) 0.15 0.7 0.15 0.7 0.15 0.7 2.4
許容加熱温度 150℃
質量 (g) 200 250 250 250 250 250 1000
共通仕様 <材質>
回転軸 : SUS 403
ケーシング : SUS 304
ローター : SS 400、ニッケルメッキ
マグネット : 希土類マグネット
リーク量 : 6.7×10-11 Pa・m3/sec以下

外観寸法図

オプション

オプション名 仕様
圧空駆動 許容加熱温度 (アクチュエータ部) : 60℃
駆動圧力 : 0.25~0.7MPa
配管接続 : φ4チューブワンタッチ継ぎ手
回転角度任意設定 (0°~270°) ストッパー付き
モーター駆動 30mm□のモータに対応します。(例:オリエンタルモーターTM PK224PB-L)
ご指定のモータにあわせた設計も可能ですので、お問い合わせ下さい。
260℃ 高温仕様 260℃ 高温タイプのマグネットを使用します。
200℃ 以上のハードベークが必要な場合は このオプションを選択して下さい。
伝達トルクが10% 低下しますのでご注意下さい。
軸長変更 フランジ真空側の軸長を指定して下さい。通常品は 50mmです。
10~100mm の範囲で指定頂けます。

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