実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のRHEEDスクリーン

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RHEEDスクリーン(SGシリーズ) RHEEDスクリーンフランジ(SGFシリーズ) RHEEDスクリーンシャッター(SGSシリーズ)
RHEEDスクリーン
(SGシリーズ)
RHEEDスクリーンフランジ
(SGFシリーズ)
RHEEDスクリーンシャッター
(SGSシリーズ)

RHEEDスクリーン SGシリーズ

概要

RHEED (Reflection High Energy Electron Diffraction=反射高速電子回折) 用蛍光スクリーンです。
回折像投影時に制動放射線 (X線) が発生しますが、鉛ガラスを使用し、観察者の被爆を抑えます。また、独自技術によりピンホールやムラのない蛍光膜を作製しています。 排気系にターボ分子ポンプをご利用の場合、ビューポートの破壊 のような事故に十分お気を付け下さい。

特徴

  1. 電子ビームによるX線被爆対策用に鉛ガラスを使用しています。
  2. 独自技術により、ピンホールやムラの無いきれいな蛍光膜を作製しています。
  3. 豊富なラインナップを揃えております。
  4. 標準スクリーンは、ITO塗布より導電性を確保しております。
  5. 可視光カット用にAl膜、Au膜付きスクリーンをご用意しております。(ITOの塗布は行いません。)
  6. 蛍光膜が汚れたり、剥がれたりした場合には、再塗布が可能です。
    ※再塗布にあたっては状態の確認が必要となります。まずは一度お問い合わせ下さい。

仕様

標準はDカットありです。また、ビューポートは付属していませんので、別途ご用意下さい。
丸形にしたい場合やその他ご要望等ありましたら、お気軽にお伝え下さい。

スクリーン仕様

SG32-1 φ70CF用スクリ-ン(φ32 t=1.2 鉛ガラス、ITO塗布済み)
SG63-2 φ114CF用スクリ-ン (φ63 t=2 鉛ガラス、ITO塗布済み)
SG101-2 φ152CF用スクリ-ン (φ101 t=2 鉛ガラス、ITO塗布済み)
SG132-5 φ203CF用スクリ-ンA (φ132 t=5 鉛ガラス、ITO塗布済み)
SG149-5 φ203CF用スクリ-ンB (φ149 t=5 鉛ガラス、ITO塗布済み)

スクリーンフランジ仕様

SG32-WF70 φ70CFスクリ-ンフランジ (φ70CF用スクリ-ン+フランジ)
SGF63-WF114 φ114CFスクリ-ンフランジ (φ114CF用スクリ-ン+フランジ)
SGF101-WF152 φ152CFスクリ-ンフランジ (φ152CF用スクリ-ン+フランジ)
SGF132-WF203 φ203CFスクリ-ンフランジ (φ203CF用スクリ-ンA+フランジ)
SGF149-WF203 φ203CFスクリ-ンフランジ (φ203CF用スクリ-ンB+フランジ)

スクリーンシャッター仕様

SGS32-SF70 φ70CFスクリ-ンシャッター (φ70CF用スクリ-ン+シャッター付フランジ)
SGS63-SF114 φ114CFスクリ-ンシャッター (φ114CF用スクリ-ン+シャッター付フランジ)
SGS101-SF152 φ152CFスクリ-ンシャッター (φ152CF用スクリ-ン+シャッター付フランジ)
SGS132-SF203 φ203CFスクリ-ンシャッター (φ203CF用スクリ-ンA+シャッター付フランジ)
SGS149-SF203 φ203CFスクリ-ンシャッター (φ203CF用スクリ-ンB+シャッター付フランジ)

特殊スクリーン

*** (型式) -Au 金コートスクリーン (ITO塗布無し)
*** (型式) -Al アルミコートスクリーン (ITO塗布無し)

他、特殊仕様スクリーンの製作も承っております。特殊形状のガラスへの蛍光材塗布、SUS板への蛍光材の塗布も行っています。
塗布予定の基板の製作から可能です。

関連製品

アリオスではRHEEDスクリーンから、RHEED電子銃、電源及び、 ビューポート保護用の ビューポートシャッターMBE装置 まで全て一括して承っております。 ぜひ お問い合わせ 下さい。

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。