実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のビューポートシャッター

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ビューポートシャッター  SFシリーズ

ビューポートシャッター SFシリーズ

概要

ビューポートシャッター構成図 蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス、有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止します。

真空容器は通常ステンレスで製作しますので、中を見ることができません。中を見るためには、ビューポートという覗き窓を使います。
ところが、成膜等のプロセスを行っていると、膜がビューポートに付着し、真空容器内を覗くことができなくなってしまいます。 付着した膜を取り除くためには、大気開放後、膜をこそげ落とし、場合によっては薬品を使います。 さらに強固な膜で剥離が不可能な場合、ビューポートを取り替えねばならないこともあります。
そのため、本器のようなビューポートシャッターを取り付け、観察しない時はシャッターを閉じてビューポートに成膜されるのを防ぎます。

ビューポートシャッターから覗いた蒸着の様子を こちら に掲載していますので、見え方等ご参考にして頂ければと思います。
また、排気系にターボ分子ポンプをご利用の場合、ビューポートの破壊 のような事故に十分お気を付け下さい。

特徴

  1. コンフラットフランジ仕様により、MBE装置など、各種超高真空装置に使用可能です。
  2. 回転導入機も200℃ベーキング対応の RFTシリーズ を使用しており、高温ベーキングが可能です。
  3. φ70CF~φ203CFまで対応しています。
  4. ほとんど隙間なく閉じることができ、高蒸気圧の試料にも効果があります。
  5. オプションのシールドガラス、RHEEDスクリーンが装着可能です。
  6. 簡単な組み替えで開閉方向を変更できます。
  7. 特殊サイズフランジの製作も可能です。ご相談下さい。

仕様

型式 SF 70 SF 114 SF 152 SF 203
取付フランジ φ70CF φ114CF φ152CF φ203CF
質量 (g) 650 1200 1600 2750
共通仕様 リーク量 : 6.7×10-11 Pa・m3/sec 以下
ベーキング温度 : 200℃
主な材質 : SUS 304
使用回転導入機 : RFT34B-VP (マグネットカップリング)

外観寸法図

オプション

オプション名 仕様
シールドガラス取付金具付き 蒸着など in-situで目視観測等が必要な場合は、
シャッターフラップとビューポートの間にシールドガラスを装着すると効果的です。
交換用にシールドガラスの単品販売もしております。
SF70用 : φ33mm t=1mm
SF114用 : φ63mm t=2mm
SF152用 : φ101mm t=2mm
SF203用 : φ132mm t=5mm
260℃ 高温仕様 260℃ 高温タイプの回転導入機を使用します。
200℃ 以上のハードベークが必要な場合はこのオプションを選択して下さい。
圧空駆動 許容加熱温度 (アクチュエーター部) : 60℃
駆動圧力 : 0.25~0.7MPa
配管接続 : φ4 チューブワンタッチ継ぎ手
フラップ開閉方向 通常はフラップの回転軸を水平にすると、回転導入機は右上になります。
回転導入機を左上側に取りつける場合はこのオプションを選択して下さい。

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。