実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の超小型マイクロ波プラズマ源

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超小型マイクロ波プラズマ源01

超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201

概要

SMPS-201は超小型のマイクロ波励起プラズマ源です。ガスライン、あるいは排気ラインの途中に取り付けて使うことを想定して開発しました。酸化処理用、窒化処置用、エッチング用などのラジカル源として、プラズマ装置のガスライン上流に取り付けてプリプロセスを行うなど、気軽にご使用頂けます。
プラズマについては プラズマに関しての実践的テクニックプラズマ Q&A をご覧下さい。
マイクロ波については 資料館 マイクロ波技術相談室 マイクロ波Q&A をご覧下さい。

特徴

超小型マイクロ波プラズマ源02
  1. プラズマ室は高純度アルミナ製で、放電を目視確認できます。
  2. 無電極放電。新方式のマイクロ波供給方式により高密度プラズマを実現しました。
  3. 完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全です。
  4. 完全空冷式で冷却水は不要です。
  5. 各種活性ガスの使用が可能です。
  6. マイクロ波 は同軸ケーブルにて供給されますので、面倒な導波管接続が不要です。
  7. イグナイター搭載により、放電がしやすくなっています。
  8. プラズマ源本体の重量わずか 1.9kg の軽量設計です。

用途例

  1. チャンバークリーニング、コンタミネーション除去
  2. ガスラインの途中に取り付けてのプロセス速度向上
  3. メインのプラズマを活性化
  4. ガス分解促進
  5. 廃ガスを分解して除害装置の負担軽減

テクニカルノーツ

プラズマ密度測定

仕様

本体仕様

型式 SMPS-201
放電室 高純度アルミナ
マイクロ波入力 MAX 200W
放電室内径 φ20mm
最大出射口径 φ15mm
ベーキング 最大 150℃ (フランジ部分のみ)
ガス導入口 1/4 VCRTM
接続フランジ φ70CF
冷却方法 強制空冷方式 (冷却ファン)
点火装置 高電圧パルス印可タイプ (自動)
質量 1.9kg

外観寸法図

200W マイクロ波電源仕様

型式 MP-201B
電源入力 単相 AC200V±10% 50/60Hz 又は 単相 AC100V±10% 50/60Hz (工場出荷時設定)
最大消費電力 490W (AC200V)、470W (AC100V)
出力周波数 2450MHz ± 50MHz
最大出力電力 200W
発振方式 マグネトロン自励発振
制御方式 アノード電流可変 (定電流) 方式
冷却方法 強制空冷
表示 アノード電流、入射波、反射波
出力方式 N型同軸コネクタ (N-R)
保護機能 外部インターロック
最大出力リミッタ (200W)
電源スイッチ併用ブレーカ (5A (200V) )、(10A (AC100V) )
上面パネル・ドアインターロック
マグネトロン過熱防止サーモスイッチ
質量 17.5kg (AC200V 仕様)、13.5kg (AC100V 仕様)
標準添付品 スリースタブチューナー
同軸型出力ケーブル 5m
イグナイターケーブル 5m
ファンケーブル 5m
オプトケーブル 5m
AC入力ケーブル 3m
ローカルコネクタ 1式

標準構成

オプション

ガス導入系 3/8 VCRTM
接続フランジ NW40

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。