実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の簡易型XY機構

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簡易型XY機構 SXYシリーズ

簡易型XY機構-SXY70070簡易型XY機構とトランスファーロッドの組み合わせ
SXY 70070トランスファーロッドと組み合わせ

概要

2つのフランジ間で、それぞれの軸中心のオフセット及び ±3°の角度調整が可能な部品です。 本器は簡易型の XY機構にチルト調整機構を組み合わせています。調整は大気側で行えます。トランスファーロッドの位置調整用に最適で、全金属封止構造ですため、超高真空装置にもお使いいただけます。
同様な機能を持つ部品に XYZステージ があります。本 SXYシリーズは角度調整が可能ですが、マイクロメーターを搭載していない点が異なります。

特徴

  1. オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。
  2. MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空装置用に最適です。
  3. φ70~φ203CFまで対応しています。
  4. 4本のロッドを調整することにより、チルト調整が可能です。
  5. トランスファーロッド超小型回転導入機、直線導入機等と組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が経済的に行えます。

仕様

型式 SXY 70070 SXY 70114 SXY 70152 SXY 70203
フランジ1 φ70 ※
フランジ2 φ70CF φ114CF φ152CF φ203CF
ベローズ寸法 (φ内径、φ外径) (mm) 39 、 51 51 、 70
質量 (g) 2,100 2,480 3,720 6,240
共通仕様 ベーキング温度 : 最高 200℃
リーク量 : 6.7×10-11 Pa・m3/sec 以下
移動量 : X-Y-Z 各±5mm
チルト : ±3°
材質 : ベローズ部-SUS 316、その他-SUS 304

外観寸法図

※オプションにより回転フランジへの変更が可能です。

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