実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のトランスファーロッド

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トランスファーロッド TRシリーズ

単軸直進タイプ TR70-SLB-300単軸直進・回転タイプ TR70-SLRB-300
単軸直進タイプ
TR70-SLB-300
単軸直進・回転タイプ
TR70-SLRB-300

概要

大気側から真空側へとフランジの軸方向に直線的な動きを伝える部品です。超小型回転導入機 RFTシリーズと同様に磁気結合を使い、Oリングなどを使用していないので、超高真空 での使用が可能です。
この TRシリーズは強力な磁気回路により回転、直線運動を高トルクで真空内に導入できます。ロードロック室及び試料ハンドリング機構と組み合わせて、試料交換などに使います。

特徴

  1. オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。
  2. MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空用に最適です。
  3. 取り付けはφ70CF仕様です。
  4. 強力磁気回路のマグネットカップリングにより高トルクです。

仕様

型式 (ストローク量をご指定下さい) TR70-SLB-××× TR70-SLRB-×××
タイプ 単軸直進駆動 単軸直進 ・ 回転駆動
ストローク 300~1000mm
直進駆動伝達力 (N) / 回転駆動伝達トルク (N・m) 80N / N/A 90N / 4.5Nm
共通仕様 フランジ : φ70CF
取付方向 : 水平 (垂直仕様はご相談下さい)
ベーキング温度 : 最高 200℃
リーク量 : 6.7×10-11 Pa・m3/sec 以下
たわみ量 (例) : 2 mm
(ストローク 500mm、曲げ荷重 50N、取付方向水平の時)
軸受け部 : ステンレスベアリング
マグネット材質 : Nd-Fe-B 系

外観寸法図

オプション

アシストアーム ストローク駆動を手元で操作するアシスト機構です。
モーター駆動 御指定のモーターに合わせた設計も可能です。
250℃耐熱仕様 250℃耐熱仕様のマグネット (Sm-Co系) を使用します。
(標準仕様に比べ伝達トルクが10%低下します)

※廉価版の規格もご用意しております。
※規格品以外のストローク、形状等対応です。お問い合わせ下さい。

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。