実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の排気セット

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排気セット  MVPS

排気セット MVPS

概要

本ユニットは、ターボ分子ポンプ及びあら引きポンプを搭載した移動式排気セットです。本セット 1台で、真空容器を大気から高真空にすることができます。 補助ポンプとしてスクロールポンプを使用していますので、標準でオイルフリー仕様となっており、真空容器内が油汚染しないクリーンな排気が行えます。

特徴

  1. シンプルな構成による高いメンテナンス性。
  2. ターボ分子ポンプ及びあら引きポンプは、各メーカーを自由に選択頂けます。→各種ポンプについては 真空ポンプの種類 をご覧下さい。
  3. 排気コントローラーによる簡単起動。(シーケンサーによるプログラム動作)
  4. サーモカップル真空計による背圧確認。
  5. ブレーカーの標準装備など、安全設計です。
  6. インターロックバルブ (ILV-01) との併用により、電気だけで動かすことが可能です。

仕様

ターボ分子ポンプ 排気速度 : 220 L/sec (N2 、保護金網付き)
到達圧力 : 1×10-5 Pa以下 (ポンプ単体での圧力)
制御電源 : デジタルコントロールによる監視・保護機能搭載
スクロールポンプ 排気速度 : 250 L/min
到達圧力 : 1.6×10-2 Pa 以下 (ポンプ単体での圧力)
電動機出力 : 0.4 kW
排気コントローラ 制御方式 : シーケンサーによるプログラム動作
制御方法 : 排気ポンプ、真空バルブの状態監視を行い、操作の可否を実行
安全対策 : サーキットプロテクタによる過電流の防止、
サーマルリレーによるモーター過負荷運転の防止、
状態監視によるターボ分子ポンプ、スクロールポンプの破損防止
外部出力 : リレー接点によるベーキング許可信号
用力 電源 : 単相 200V/15A (最大)
圧縮空気 : 圧力 0.4~0.6 MPa (接続径 : Rc 1/4 (使用時))
寸法、重量 本体 (530mm×650mm H1200mm)、約60kg

外観寸法図

オプション

※標準仕様以外にも、要求仕様に応じて設計製作致します。
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スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。