実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のZステージ

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Zステージ(114CFフランジタイプと簡易型XY機構との組み合わせ)

Zステージ LMTシリーズ

概要

2つのフランジ間の距離を可変することができる中空Zステージです。各種コンポーネントを取り付け、大気側から直線移動調整が可能です。
※こうした装置は、用途によって必要なストロークが異なり、また場合によっては電動にする必要があります。詳細はご相談下さい。

特徴

  1. オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。
  2. MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空用に最適です。
  3. 200℃までの高温ベーキング対応。
  4. φ34CF~φ114CFまで対応しています。
  5. XY機構 等との組み合わせにより、多軸調整が可能です。

仕様

型式 LMT 3410 LMT 7050 LMT 70100 LMT 11450 LMT 114100
フランジ φ34CF φ70CF φ114CF
ストローク量 12.5mm 50mm 100mm 50mm 100mm
最小内径 φ16mm φ38mm φ60mm
共通仕様 ベーキング温度 : 最高 200℃ (ハンドル、デジタルスケール部を除く)
リーク量 : 6.7×10-11 Pa・m3/sec 以下
材質 : ベローズ゙部-SUS 316、フランジ-SUS 304、その他-アルミ合金

外観寸法図

オプション

※規格以外のフランジ、ストローク変更など特殊仕様対応可能です。 お気軽に お問い合わせ 下さい。
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