実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のマイクロ波ラジカル源

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マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q

マイクロ波ラジカル源 EMRS-211Q

EMRS-211Qは石英放電管タイプでチャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起ラジカル源です。ラジカル酸化、窒化、水素還元、エッチング、成膜アシスト用途に最適です。プラズマ源としてもご利用頂けます。
マイクロ波については 資料館 マイクロ波マイクロ波Q&A をご覧下さい。

特徴

  1. プラズマ室は石英ガラス製で放電を目視確認できます。
  2. ラジカル源用途以外に、加速用高圧電源 (オプション) の使用によりイオン加速が可能です。
  3. 各種活性ガスの導入が可能です。
  4. マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されますので、面倒な導波管接続が不要です。

仕様

本体

型式 EMRS-211Q
最大出射口径 25mm
ベーキング 最大 150℃ (導波管部は最大 60℃)
ガス導入系 φ34CFポート 2系統
接続フランジ φ114CF 取付け
冷却方法 強制空冷 (冷却水は不要)
点火装置 高電圧パルス印加タイプ (自動)
質量 4.7kg

外観寸法図

200W マイクロ波電源仕様

型式 MP-201B
電源入力 単相 AC200V±10% 50/60Hz 又は 単相 AC100V±10% 50/60Hz (工場出荷時設定)
最大消費電力 490W (AC200V)、470W (AC100V)
出力周波数 2450MHz ± 50MHz
最大出力電力 200W
発振方式 マグネトロン自励発振
制御方式 アノード電流可変 (定電流) 方式
冷却方法 強制空冷
表示 アノード電流、入射波、反射波
出力方式 N型同軸コネクタ (N-R)
保護機能 外部インターロック
最大出力リミッタ (200W)
電源スイッチ併用ブレーカ (5A (200V))、(10A (AC100V))
上面パネル ・ ドアインターロック
マグネトロン過熱防止サーモスイッチ
質量 17.5kg (AC200V 仕様)、13.5kg (AC100V 仕様)
標準添付品 スリースタブチューナー、同軸型出力ケーブル (5m)、イグナイターケーブル (5m)、
ファンケーブル (5m)、オプトケーブル (5m)、AC入力ケーブル (3m)、ローカルコネクタ 1式

標準構成

オプション

2kV イオン加速電源

型式 3ACCPS2-30
電源入力 単相 AC90~250V 50/60Hz
最大入力電流 4A
出力 (2極比率出力) アクセル電極 -500V 8mA 比率変更可能
スクリーン電極 2kV 30mA
出力電圧 0~+2000V
出力電流 0~30mA
保護機能 外部構成によるインターロック出力短絡保護
質量 8 kg
その他の機能 リモート ON/OFF
外部電圧による出力電圧コントロール
電圧電流モニター (アクセル電極は電圧のみ、スクリーン電極はそれぞれ可能)

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。