実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の同軸ケーブル用スリースタブチューナー

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同軸ケーブル用スリースタブチューナー TSTB-201A

概要

2.45GHz 帯用 N型コネクタ接続の同軸ケーブル用スリースタブチューナーです。従来、アリオスではこの製品を購入してきましたが、プラズマ発生用としては許容電力が低く、必要な電力を供給できませんでした。そこで、新たに考案して試作したのがこの製品です。
スリースタブチューナー 設計者インタビュー!
内部を全て不燃材質とし、発熱の可能性のある構造を徹底的に排除しました。200W 入力において 約 35℃と、使用上差し支えのない発熱となっております。
スリースタブチューナの使用に関する注意点について マイクロ波 スリースタブチューナー で紹介しています。

仕様

使用周波数帯 2.45GHz
最大入力電力 200W
入出力コネクタ N型コネクタ

備考

マイクロ波供給方法に関しましては、200W までなら設置及び仕様が簡便な同軸ケーブル接続が使用できます。
それ以上の電力に関しましては、導波管接続をお薦めします。
遮断波長の存在や導波管内の波長について 導波管 で詳しく説明しております。

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スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。