実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のRFプラズマ実験装置

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RFプラズマ実験装置

RFプラズマ実験装置 RFPC-550

概要

アリオスでは RF 13.56 MHz励起プラズマ源を用いたプラズマ実験装置の製作を承っております。
本装置は実験用RFプラズマ装置で、RFプラズマ源、基板加熱機構、ガス供給系、ロードロック室より構成しており、各種原料ガスをプラズマ化し、基板処理が可能です。ガス種・ガス圧などの条件を変化させることにより、広範囲なプラズマ処理実験が可能です。
RFプラズマ についてご不明点等ございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。
プラズマ源を自社設計する当社だからこそ可能な柔軟設計。お客様の要求仕様に応じて設計、製造致します。

特徴

  1. 自動マッチングにより簡単操作になっております。
  2. コンパクトチャンバー+シンプルな構成により、容易にメンテナンスが可能です。
  3. RFに対する高電圧感電防止のためのインターロック (真空の時のみRFが印加可能) を装備しています。
  4. 高周波漏洩対策、停電などに対しても安全に停止するような機構を装備しています。
  5. オプションでロードロック機構を追加可能です。基板導入は大気開放することなく極めて簡単に、かつ短時間に行えます。

仕様

プラズマ源 RF : 0~500W 可変+自動マッチングBOX (手動チューニング可能)
(誘導結合 又は 容量結合、反応管 : φ40×36 石英管)
RF出力電力 0~550W (13.56MHz±1kHz)
処理室 SUS 304 製
ロードロック室 SUS 304 製 ハッチポート+Oリング式トランスファーロッド
基板ホルダー 材質 : アルミ、240mm×300mm (MAX)、RF 印可電極
対向電極 材質 : アルミ、240mm×300mm (MAX)、上下駆動 Oリング式・手動
真空排気系 メインポンプ RP+オイルミストトラップ
ガス供給系 ニードルバルブ 2系統 (又は マスフローコントローラー)
真空計 サーモカップル真空計 (又は ダイヤフラムゲージ)
本体架台 キャスター、アジャスター付き (電源部を含む)、本体重量 約300kg
電源部 ブレーカBOX 1式、RPスイッチパネル 1式、真空計コントローラ 1式、RF電源
用力 AC200V 3相 20A (最大)
プロセスガス : 不活性ガス SwagelokTM 1/4 又は VCRTM 1/4 2系統

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オプション

※標準仕様以外にも、要求仕様に応じ設計製作致します。

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。