実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の導波管部品

  アリオスの電話番号042-546-4811

 

導波管部品

概要

マイクロ波 (2.45GHz) の伝送システムに必要な各種コンポーネンツを用意しています。
2.45GHz マイクロ波を伝送するには、主に 3つの伝送路があります。

  1. 導波管 WRI-22 (WRJ-2)
    内寸は 109×55mm となっています。WR430とほぼ同一で、互換性があります。国内では最も一般的な導波管で、各社から各種コンポーネントも出ています。
  2. 導波管 WRT-2(WST-AD)
    別名 東芝導波管。内寸は 96×27mm となっています。WRI-22 (WRJ-2) より小型で扁平ば導波管です。 短辺方向が短いため、同じ電力では WRI-22 (WRJ-2) よりも高い電界強度がかかります。
  3. 同軸ケーブル
    高周波伝送路としては一般的ですが、マイクロ波帯になると減衰が大きく、使用は限定的になります。 特に、反射電力が大きい場合は非常に危険で、発熱による溶損に至るケースがあります。

他に同軸管がありますが、製品に組み込んである場合を除き、当社では取り扱いしておりません。
各コンポーネントについて以下に解説します。

マイクロ波立体回路の構成やスリースタブチューナーの詳細については マイクロ波立体回路の構成 を、円偏波変換器については 円偏波への変換 をご覧下さい。 マイクロ波に関しては 相談室 マイクロ波用語集 マイクロ波 で詳しく説明しております。ぜひご覧下さい。

ストレート管

ストレート管
発振器からプラズマ負荷にマイクロ波を伝送する直管です。
長さは 50、100mmです。

H コーナー管

磁場方向へ直角に導波管の方向を変えるための素子です。
H 面で 90度曲げた導波管です。コーナー形式で省スペースです。

テーパー管

λ/4 変成器。WRI-22 (WRJ-2) と WRT-2 (WST-AD)を変換するための素子です。
長さに余裕がある場合インピーダンスの変化が緩やかなテーパー導波管をお勧めします。 余裕がない場合は、λ/4 変成器も合わせてご検討下さい。海外でよく使われる WR340 規格の導波管との変換素子も製作しております。

スリースタブチューナー

導波管内にスタブを差し込み、等価的にリアクタンス素子を挿入することによって、インピーダンス整合を行うための素子です。これによって反射電力を再び負荷へ戻し、電力供給効率を上げることができます。 E-H チューナーと比較し整合範囲が小さいこと、また反射電力が大きい場合、本器は過熱することがあります。→ 詳細説明

ダミーロード

無反射終端です。本器に導かれたマイクロ波は熱として吸収され、反射電力を生じません。 (現在弊社では単体での外販予定はございません。)

パワーモニタリングシステム

パワーモニタリングシステム
マイクロ波電力をモニターするシステムです。方向性結合器、クリスタルマウント、パワーモニター、ケーブルの構成品です。 入射電力、反射電力をそれぞれモニターすることができ、チューニングの最適化にはほぼ必須といえます。 現在弊社では、取扱準備中です。

アイソレータ

反射電力が発振器へ戻らないようにする素子です。サーキュレータとダミーロードを組み合わせています。
発振器からの出力はそのまま負荷側へ負荷側からの反射電力は、ダミーロード (無反射終端) へと導かれ、熱として消費されます。反射電力が大きい場合は、ダミーロード部の冷却が必要です。 → 詳細説明
(現在弊社では単体での外販予定はございません。)

E コーナー管

電場方向へ直角に導波管の方向を変えるための素子です。 E面で 90度曲げた導波管です。コーナー形式のため、省スペースで導波管回路の方向を変えられます。

N 型変換器

導波管から、同軸ケーブルでよく使われる N型コネクターへの変換器です。 通過電力が小さい (200W CW) のでご注意下さい。大きい通過電力の場合はご相談下さい。

プランジャー

導波管の先端を短絡する距離を変化させることができます。主に共振長の調整に用います。(現在弊社では単体での外販予定はございません。)

E-H チューナー

導波管の長短辺方向にプランジャーを入れることによって、等価的なリアクタンス素子を構成し、インピーダンス整合を行うための素子です。 これによって反射電力を再び負荷へ戻し、電力供給効率を上げることができます。反射電力が大きい場合でも、発熱はあまり激しくありません。 → 詳細説明
(現在弊社では単体での外販予定はございません。)

導波管送風機

導波管送風機
導波管内に送風して、プラズマ輻射熱で石英などの放電部位が溶解することを阻止するためのコンポーネントです。 本器をお使いの場合は、空気が抜ける穴が必要になります。 これは導波管の適当な位置に、小さな穴を開けることによって行えます。挿入によって若干の損失が生じます。

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。