実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のEB蒸着源

  アリオスの電話番号042-546-4811

 

EB蒸着源01

EB蒸着源 SSEBシリーズ

SSEBシリーズはニッケル、クロム、シリコン、金などを蒸着するための実験用蒸着源です。K-セルでは対応が難しい材料の蒸着に最適です。少量の蒸着を試したいなど、簡単に導入頂けます。
超高真空 に対応した設計となっており、MBE装置や各種超高真空装置にも搭載が可能です。

特徴

  1. アリオス独自の制御電源により安定した蒸着が可能です。
  2. シンプルな構成により、容易にメンテナンス、試料交換を行えます。
  3. 試料を棒タイプ対応にすることにより、基板フェイスアップ型装置への本体取付も可能です。
  4. 真空内挿入長は装置に合わせて変更ができます。
  5. 試料がアースとなっており、蒸着時にイオンが発生せず、ソフトな蒸着が可能です。(SSEB-500N)
  6. 試料への高圧印加型で、フラックスモニター (イオン電流検出式) を内蔵しております。(SSEB-500FM)
  7. 高電圧感電防止のためのインターロック (フィラメント通電時のみ高圧が印加可能) を装備しています。
  8. 冷却水の必要がなく、設置場所を選びません。(試料材による)
  9. 制御電源は 100V、200Vの選択が可能です。(工場出荷時設定)

仕様

本体仕様

蒸着源型式 SSEB-500N SSEB-500FM
電源型式 SSEB-PS01 SSEB-PS02
接続フランジ φ114CF
真空内挿入長 標準 340mm (最大) (最小240mm)
試料サイズ φ3×20mm (ルツボ型は 0.03cc)
フラックスモニター 無し イオン電流検出用電極搭載
試料微動調整 挿入ストローク 25mm
シャッター機構 手動シャッター標準
ベーキング温度 最高 200℃ (直線導入機部を除く)
リーク量 6.7×10-11 Pa・m3⁄ sec 以下

外観寸法図

電源仕様

型式 SSEB-PS01 SSEB-PS02
電源入力 単相 AC100V 7A
又は
AC200V 3.5A 50/60Hz
単相 AC100V 10A
又は
AC200V 5A 50/60Hz
最大出力電圧 (フィラメント) 10V 15V
最大出力電流 (フィラメント) 0~6.0A 0~7.0A
最大出力電圧 (加速) 0~2000V
最大出力電流 (加速) 0~125mA
フラックスモニター 無し イオン電流検出式
検出感度:10-4 ~ 10-8 A
保護機能 外部構成によるインターロック
フィラメント断線・未接続による高圧回路遮断
内部回路加熱によるフィラメント回路遮断
ケーブル 出力ケーブル 5m、入力ケーブル 3m 出力ケーブル 5m (2本)、入力ケーブル 3m
パネル JIS H150

※特殊仕様も承っております。ご要望に応じた設計、製作が可能です。

セット構成

オプション

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。