実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の小型マイクロ波イオン源

  アリオスの電話番号042-546-4811

 

小型マイクロ波イオン源  EMIS-111Q

小型マイクロ波イオン源 EMIS-111Q

概要

EMIS-111Q は石英放電管タイプの小型マイクロ波励起イオン源です。
マイクロ波イオン源 EMIS-211C と比べ小型コンパクトとなり、よりイオン源として特化した設計で、より多くのイオン電流を得ることができます。

特徴

  1. プラズマ室は石英製で放電を目視観測できます。
  2. 3枚電極構造により、低出力のマイクロ波で大電流のイオンビームを得ることができます。
  3. ニュートラライザー (中和器、オプション) により、絶縁物に対しても使用が可能です。
  4. プラズマ室のプラズマが接触する部分は、全て絶縁物 (アルミナ+石英) で構成されており、不純物混入を最小限に抑えることができます。
  5. 完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全です。
  6. 完全空冷式で冷却水は不要です。
  7. 各種活性ガスの使用が可能です。
  8. マイクロ波 は同軸ケーブルにて供給されますので、面倒な導波管接続が不要です。
  9. イグナイター (オプション) により、プラズマ点火が確実です。

用途例

テクニカルノーツ

イオンビーム電流測定方法とデータ

仕様

本体仕様

型式 EMIS-111Q
放電室 石英
マイクロ波入力 MAX 150W
放電室内径 φ26mm
グリッド穴口径 φ2.8mm×19
ベーキング 最大 150℃ (フランジ部分のみ)
真空封止 Oリングシール (放電管部)
ガス導入口 1/4 VCRTM 又は 1/4 SwagelokTM
接続フランジ φ114CF
冷却方法 強制空冷方式 (冷却ファン)
質量 1.9kg

外観寸法図

2kV イオン加速電源

型式 3ACCPS2-30
電源入力 単相 AC90~250V 50/60Hz
最大入力電流 4A
出力 (2極比率出力) アクセル電極 -500V 8mA 比率変更可能
スクリーン電極 2kV 30mA
出力電圧 0~+2000V
出力電流 0~30mA
保護機能 外部構成によるインターロック出力短絡保護
質量 8 kg
その他の機能 リモート ON/OFF
外部電圧による出力電圧コントロール
電圧電流モニター (アクセル電極は電圧のみ、スクリーン電極はそれぞれ可能)

200W マイクロ波電源仕様

型式 MP-201B
電源入力 単相 AC200V±10% 50/60Hz 又は 単相 AC100V±10% 50/60Hz (工場出荷時設定)
最大消費電力 490W (AC200V)、470W (AC100V)
出力周波数 2450MHz ± 50MHz
最大出力電力 200W
発振方式 マグネトロン自励発振
制御方式 アノード電流可変 (定電流) 方式
冷却方法 強制空冷
表示 アノード電流、入射波、反射波
出力方式 N型同軸コネクタ (N-R)
保護機能 外部インターロック
最大出力リミッタ (200W)
電源スイッチ併用ブレーカ (5A (200V))、(10A (AC100V))
上面パネル・ドアインターロック
マグネトロン過熱防止サーモスイッチ
質量 17.5kg (AC200V 仕様)、13.5kg (AC100V 仕様)
標準添付品 スリースタブチューナー、同軸型出力ケーブル (5m)、イグナイターケーブル (5m)、
ファンケーブル (5m)、オプトケーブル (5m)、AC入力ケーブル (3m)、ローカルコネクタ 1式

標準構成

  • EMIS-111Q プラズマ源本体
  • MP-201B 200W マイクロ波電源
  • 2kV イオン加速電源、アクセルグリッド電源
  • ケーブル類 (MP-201B標準添付品参考) 1式

オプション

  • フィラメント式中和器
  • 点火装置 (高圧パルス印加タイプ (自動))

※オプションで中和器もご用意しております。これにより絶縁物基板への対応が可能です。

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。