実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のタイミングリークバルブ

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タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

タイミングリークバルブ

概要

TLV-02型タイミングリークバルブは、電源が切れてから 25秒あるいは 40秒後にバルブが開くバルブです。真空経路をゆっくりと大気開放する用途に最適で、停電時などに TMPやRP のオイルバック防止に使用できます。
電源は AC90~260V、または DC24V に対応しており、電源が切れると、自動的に遅延大気開放動作を行います。バルブシールはバイトンOリングです。
排気系を大気開放し真空容器を真空保管する場合は、ゲートバルブなどを併用して下さい。

特徴

  1. コンパクト設計により、取り付け場所を選びません。
  2. TMP や RP等に直接取り付けることができます。
  3. 遅延時間が 25秒の Sタイプと 45秒の Lタイプ、2種類からご指定いただけます。
  4. 大気リーク及びN2等によるガスリークができます。
  5. 電源入力電圧は AC 90~260Vと DC 24V に対応しています。
  6. インターロックバルブ (ILV-01) と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です。

使用方法

付属の電源コネクターに電源を接続し、電源を入力するとバルブが閉じます。電源を切断し、遅延時間を経過するとバルブが開きます。
(通電30分までの遅延時間は電源入力時間に依存します)

インターロックバルブ使用方法 チャンバやポンプなどの排気系への取付例

型式指定方法

遅延時間は 2タイプ、接続口の口径で 4タイプよりご指定いただけます。
右の図を参照に指定方法より型式をご指定下さい。

型式指定方法

仕様

使用圧力 0~0.3 MPa
弁座漏れ 1.3×10-8 Pa・m3/Sec以下
使用周囲温度 0~50℃
取付姿勢 指定なし
フランジ NW-10, 16, 25, 40 (特別仕様可)
ガス導入口 Rc 1/8 (エアフィルター 付属)
バルブオリフィス 1.2mm
Cv値 0.05
バルブボディ材質 SUS 303
バルブシール バイトン Oリング
遅延時間 (30分通電時) TLV-02-S型 25秒±10秒 (TYP)
TLV-02-L型 45秒±10秒 (TYP)
電源DC入力時 DC24V 0.22A (MAX)
電源AC入力時 AC90~260V 0.07A (TYP)
質量 520g

外観寸法図

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