実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社 RHEEDシステム

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RHEEDシステム

RHEEDシステム

概要

RHEEDは反射高速電子線回折といい、高速電子線を試料に浅い角度で照射し、反射した電子で回折像を得ます。MBEでは、表面の原子の並びに関する情報が成膜中にその場観察できます。
アリオスでは、20年以上 MBE装置 及び部品類の開発・製造をしてきたノウハウをベースに、RHEEDシステムの電子銃・制御電源・スクリーンまで全て自社で開発・製造しています。
RHEED用蛍光スクリーンは電子ビームによる X線被爆を防ぐため鉛ガラスを使用、独自技術によりピンホールやムラのない蛍光膜を作製しています。 蛍光膜のはがれ、欠損などに対する再塗布などの メンテナンス も低価格、短納期で行えます。

特徴

  1. 小型化設計により全長363mm (コネクタ取り付け後) で、軽量かつコンパクトです。
  2. フィラメント交換後の電子ビーム軸合わせは、ベローズ機構により簡単確実な調整が可能です。
  3. 差動排気ポートを標準で装備しており、ガス導入時の運転も可能です。(別途部品交換が必要)
  4. 取り付けフランジ (φ70CF) は、ネジ穴が倍数あり、相手フランジの取り付け角度を選びません。
  5. 電源本体は、ラックマウント (H150JIS サイズ) 及び 床設置が可能です。
  6. 操作する全てのツマミ、メーター類をリモコンBOXに集約しており、スクリーンを観ながら操作が行えます。
  7. フィラメントに通電しないと加速電圧が印加できない設計となっており、ケーブルが外れた状態では高電圧がかからず、安全です。
  8. 入力電圧 100~240V 対応のフリー電源です。
RHEEDシステム概略図RHEED303を使用して撮影されたSiパターン
RHEEDシステム概略図RHEED303を使用して撮影されたSiパターン

仕様

電子銃仕様

型式 RHEED 303-EG
加速電圧 最大 30kV
重量 6.3 kg
使用真空度 10-4 Pa~超高真空領域
電子ビームスポット径 φ80μm以下
電子ビーム偏向角度 ±5° XY
接続フランジ φ70CF (ネジ穴倍数タイプ)
リーク量 6.7×10-11 Pa・m3⁄sec 以下
ベーキング温度 最高 200℃ (ケーブル、コネクタ除く)
フィラメント タングステンヘアピン

RHEEDシステム外観寸法図

制御電源仕様

型式 RHEED 303-PS
[入力] 入力電圧 AC 100V~240V 50/60Hz 5A
[出力] フィラメント電源 最大 2.0A DC
安定度 : 0.1% (2A)
[出力] 加速電源部 -0.1 ~ -30kV × 200μA
安定度 : 0.1% (-30kV)
[出力] コイル電源
対物レンズ OBJ
0~0.75A
安定度 : 0.1%
[出力] コイル電源
偏向コイル DEF、XY
±0.45A
安定度 : 0.1%
[出力] 保護 フィラメントと高圧の保護回路を装備
質量 9.3 kg
安全対策 ・インターロック端子装備
・フィラメント通電時のみ高圧 ON 可能
・電源上面にパネルスイッチ装備
標準添付 高圧ケーブル (7m)、コイルケーブル (7m)、
リモコンBOX、リモコンケーブル (7m)、交換用フィラメント 1個

標準構成

オプション

接続フランジ φ114CFへ変更可能です。
差動排気用オリフィス ガス導入時に使用する場合は、ご指示下さい。

※標準仕様以外にも、要求仕様に応じて設計製作致します。 お使いの装置に合わせた仕様変更も可能です。
以前お問い合わせ頂いた例を アリオスのソリューション に掲載しております。ぜひご参照下さい。

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。