実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の分子線セル

  アリオスの電話番号042-546-4811

 

分子線セル ACCシリーズ

MBE 分子線セル

概要

分子線セル (クヌーセンセル) とは、原子層 1層ずつ積層成長可能な 超高真空対応の蒸着源のことです。 アリオスは、分子線セルの製造に 30年以上の実績を有し、豊富な経験と知識があります。 標準品以外にも、特殊仕様セル、弊社 MBE装置 をはじめ各社MBE装置向けの代替などの特殊設計も可能です。
設計製作~メンテナンスまでを行うことのできるアリオスは、お客様の研究・開発を全面サポート致します。
ぜひ オーダーメイドメンテナンス・改造アリオスのソリューション もご覧下さい。

特徴

分子線セル本体

  1. コンタミネーションの少ない成膜が可能。最適な材料、構造、表面処理の追求によりガス放出が極めて少ない成膜ができます。
  2. クラッキングセル、ガスソースセル、イオン化セルなど多数実績がございます。特殊仕様もご相談下さい。
    →お問い合わせ(042-546-4811)

専用加熱電源

  1. 温度調整器とスイッチング電源を組み合わせ、基板加熱機構や分子線セルの加熱用に専用設計されたオリジナルの電源です。
    最適設計により、小型化、高精度、大出力かつ低価格化を実現しています。
  2. 高効率スイッチング電源により省エネルギーです。
  3. 温度調整器はプログラム式、PID制御方式など、仕様に応じて選択が可能です。
  4. ラックマウント (H200 JISサイズ) 及び 床置が可能です。
  5. 入力電圧 100V、200V に対応し、設置場所の電力事情に左右されません。

外観図・オーダメイド表

外観寸法図+仕様+セルオーダー表

製造工程と高温ガス処理

高温脱ガス処理装置
設計から製造まで、分子セルに精通したスタッフが担当し、材料から加工・処理まで適切な管理のもと、高品質な製品のご提供に努力しています。 特に分子線セルで重要な高温時のガス放出を低減させるため、部品段階と組立完了後 2回の高温脱ガス処理を厳密に行い、専用容器に真空保管した状態で出荷します。これにより立ち上げ時間が大幅に短縮されます。
出荷検査は、リークテスト・最高加熱温度測定・温度安定度測定を行い、製品毎にデータを添付しています。測定温度や安定度測定時間など検査内容はカスタマイズ可能です。
使用する高温脱ガス処理用の装置は、専用に開発したオリジナルの加熱脱ガス処理装置です。生産性の向上のため加熱炉を 3式装備しています。加熱炉は高真空領域で 1000 ℃以上の加熱が可能です。
アリオスでの高温ガス処理作業の様子は ベーキングの苦労 でも取り上げております。ぜひご覧下さい。

加熱脱ガス処理装置


分子線セル専用 加熱電源 AHPシリーズ

DC電源と温調計を組み合わせたシンプルな加熱電源ユニットです。
温調計の仕様で 2タイプのラインアップがあります。また、H200JISラックマウントアダプターなどオプション設定もございます。

仕様

加熱電源
型式 AHP-801VT AHP-801VTP (プログラム温調計タイプ)
電源入力 AC100 V ± 15% 又は 単相 AC200 V ± 15%
電源周波数単相 50 ⁄ 60 Hz
入力電圧 単相 AC100 V 入力時最大 11 A
単相 AC200V 入力時最大 5.5 A
温調計
精度定格 入力スパンの ±0.1% ±1digit 又は 10μV
(いずれか大きい方)(ただし熱電対入力は基準点補償精度含まず)
サンプリング周期 約 0.1秒
表示方式 第 1 表示部 : バックライト付 7セグメント LCD表示
第 2 表示部 : バックライト付フルドットマトリックス LCD表示 (96×20ドット)
オートチューニング 標準装備 (手動によるPID定数設定も可能)
調整方法 電圧出力型 PID
通信機能 RS-232C、RS-422A (オプション)
プログラムパターン設定方法 N/A キースイッチにて設定
プログラムパターンステップ数 N/A 最大 19ステップ ⁄ 1パターン
プログラムパターン数 N/A 最大 19種 (19パターン)
プログラムパターン繰り返し N/A 最大 9999回
DC電源
出力電圧 DC 0V~36V
出力電流 0~24A
最大入力変動 定格電圧の0.01%+2mV
最大負荷変動 定格電圧の0.01%+2mV
冷却方法 強制空冷 (フロントエアーインテーク)
出力電流モニタ モニタ電圧0~5V/0~10Vで選択可能、精度±1%
出力電圧モニタ モニタ電圧0~5V/0~10Vで選択可能、精度±1%
保護機能 ・フィールドバック保護 (定電圧⇔定電流のモード切替時出力遮断。任意設定可能)
・過電圧保護 (設定範囲2~40V、インバータ遮断方式)
・出力電圧下限制限
・出力電圧低下保護
・過熱保護 (復帰モードをシャットダウン/自動復帰から選択可能)
オプション ・AHP用 H200JIS ラックマウントアダプター
・H200JIS ラックマウントブランクパネル

分子線セル外観寸法図

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。
お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。