実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社の2kW E型電子銃

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2kW  E型電子銃

2kW E型電子銃

アリオスのE型電子銃は各種高融点金属などのほとんどの金属や酸化物用の蒸着源です。電源と合わせ小型コンパクトな構成となっています。
電源はフィラメント電源、高圧電源ともに JIS19インチラックに搭載可能で、省スペース化を実現しています。

特徴

  1. アリオス独自の制御電源により、安定な蒸着が可能です。
  2. CF114マウントでサイドエントリー、ボトムエントリーどちらも対応可能です。
  3. 真空内長は装置に合わせて変更ができます。
  4. コンパクトな電源構成で、JIS19インチラックに搭載可能です。
  5. 高電圧感電防止のためのインターロック (フィラメント通電時のみ高圧が印加可能) を装備しています。
  6. 専用のリモコンBOXにより、電源操作を簡単に行うことができます。

仕様

ビーム加速電圧 5kV
エミッション電流 400mA
フィラメント電力 10V / 35A
ルツボ 個数 : 1個
サイズ : φ21×φ15×深さ6 (mm)
容量 : 1.5ml
ビーム偏向角 220°
冷却水量 2 L / min
ベーキング温度 200℃
リーク量 1.3×10-11 Pa・m3/sec 以下
真空内長 200mm (標準)
取り付けフランジ CF114

オプション

  • 変換フランジ
  • 真空内長変更
  • 取付向き変更
  • 各材質ハースライナー
  • スイープコイル
  • スイープ電源

※標準仕様以外にも、
要求仕様に応じて設計製作致します。
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