実験/量産用 プラズマ・真空装置メーカーのアリオス株式会社のXYZステージ

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XYZステージ

XYZステージ

概要

2つのフランジ間で、それぞれの軸中心のオフセット及び面間距離を可変可能な中空XYZステージです。
簡易型 XY機構 SXYシリーズ との差は、マイクロメーターなどによる精密な位置調整ができない点です。3軸の移動機構により試料ホルダーや試料加熱機構、各種導入機、その他コンポーネントの位置調整に最適です。

特徴

  1. オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。
  2. MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空装置用に最適です。
  3. φ70CF~φ203CF まで対応しています。
  4. X-Y 移動はマイクロメーターヘッドとクロスローラーベアリングによる精密移動です。
  5. トランスファーロッド回転導入機、直線導入機などと組み合わせることにより、 真空内への多軸運動伝達が行えます。

仕様

型式 XYZ 70114-50 XYZ 70114-100 XYZ 114114-50 XYZ 114114-100
フランジ1 φ70 φ114
フランジ2 φ114
ストローク量 (z) 50mm 100mm 50mm 100mm
最小内径 φ38mm φ60mm
共通仕様 ベーキング温度 : 最高 200℃
リーク量 : 6.7×10-11 Pa・m3/sec 以下
ストローク量 : X-Y 各 ±10mm
ベローズ内径 : φ50
材質 : ベローズ゙部-SUS 316、その他-SUS 304

外観寸法図

※上記型式は一例です。その他の型式につきましては お問い合わせ 下さい。
規格以外のフランジ、ストローク変更など特殊仕様対応可能です。
XYZ 114114-50BNC端子付 φ70-152 XYZステージ(特殊仕様)
XYZ 114114-50BNC端子付φ70-152XYZステージ(特殊仕様)

オプション

スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置の改造,特殊仕様,修理も承っています。 お問合せは、スパッタ,CVD,ダイヤモンド,各種成膜装置のプラズマ・真空技術の専門メーカーのアリオスへ。