アリオス株式会社 ビームフラックスモニター

ビームフラックスモニター BFM-2F01

概要

ビームフラックスモニター(BFM-2F01)は、B-Aタイプの小型ゲージをセンサーとし、分子線のビーム強度を測定するものです。
アリオスのビームフラックスモニターは、最適な材料、構造、表面処理によりガス放出が極めて少なく、精度の良い測定が可能。
また、標準品以外にも様々な用途に合わせたご要望にも対応致します。

特徴

1. 溶接ベローズ駆動による直動機構(標準ストローク：260mm)を内蔵しています。
   ストローク長は、仕様に合わせてカスタマイズ可能です。ご相談下さい。
2. 直動機構の駆動は手動(ハンドル付き)／自動(モーター駆動)どちらでも選択可能です。
3. 200℃までのベーキングが可能です。MBE装置などの各種装置に搭載が可能です。
4. 専用に開発したB-Aタイプ小型ゲージをセンサーとして用い、センサー部の省スペース化に成功しています。
5. 長寿命設計でコストパフォーマンス効果。ゲージセンサー部にシールドカバーを装備し、外部からの金属汚染を避けています。
6. フィラメントを2本装備しています。
7. 専用のフラックスモニターはアナログ出力(0-10V)により、レコーダーへの記録が可能です。
8. ゲージケーブルの端末処理はカスタマイズにより、既存の真空計をそのままモニターとして使用可能です。
   対応機種詳細はお問い合わせ下さい。

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。

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