製品紹介
装置
単体（スタンドアローン）あるいは、他の装置と連携して動作するものを装置としております。
基本的に1から作りますので様々なカスタマイズが可能です。
超高真空排気装置
[ UHVPS ]
MBE装置
マイクロ波プラズマ実験装置
[ MiPC-1000 ]
RFプラズマ実験装置
[ RFPC-550 ]
ダイヤモンド合成用MP-CVD装置
ダイヤモンド合成用HFCVD装置
[ HFCVD-6F ]
小型スパッタ装置
[ SS-DC･RF301 ]
プラズマCVD実験装置
[ PCVD-R100 ]
大気圧プラズマ実験装置
[ ATMP-1000 ]
ダイヤモンド基板用
ヘテロエピ成長装置
スパッタ装置
真空アニール装置
スペースチャンバー
エアロゾルサンプラー
[ ASシリーズ ]
昇温脱離ガス分析装置
粒子表面成膜用ドラムスパッタ装置
真空フォトルミネッセンス評価装置
ユニット
装置や真空チャンバーに取り付けて、プロセスに重要な役割を果たすものをユニットとしています。
各種プラズマ源、成膜あるいは計測装置などがこれに該当します。
ご使用にあたり真空度などチャンバー側に制約がある場合があります。
グリッドレスイオン源
[ GLISシリーズ ]
マイクロ波ラジカル源
[ EMRS-211Q ]
マイクロ波イオン源
[ EMIS-221C ]
小型マイクロ波イオン源
[ EMIS-111Q ]
超小型マイクロ波プラズマ源
[ SMPS-201 ]
RFプラズマ源
[ ERFS-501 ]
小型RFプラズマ源
[ SRPS-101 ]
RFラジカルビーム源
[ IRFS-301 ]
RFラジカルビーム源
[ IRFS-504 ]
分子線セル
[ ACCシリーズ ]
EB蒸着源
[ SSEBシリーズ ]
2kW E型電子銃
排気セット
[ MVPS ]
導波管部品
同軸用スリースタブチューナー
[ TSTB-201A ]
コンポーネンツ
回転導入機やビューポートなど、プロセスに補助的な役割を担う部品類です。
超小型回転導入機
[ RFTシリーズ ]
ビューポートシャッター
[ SFシリーズ ]
ロードロックハッチ
[ EDシリーズ ]
簡易型XY機構
[ SXYシリーズ ]
Zステージ
[ LMTシリーズ ]
XYZステージ
[ XYZシリーズ ]
トランスファーロッド
[ TRシリーズ ]
チャッキングトランスファー
[ 2TRWシリーズ ]
タイミングリークバルブ
[ TLVシリーズ ]
インターロックバルブ
[ ILVシリーズ ]
超高真空チャンバー
分析・計測
装置や真空チャンバーに取り付けて、内部の分析・計測を行うユニット群です。
ご使用にあたり真空度などチャンバー側に制約がある場合があります。
シングルラングミュアプローブ
[ LPMシリーズ ]
マルチポイント
ラングミュアプローブ
ビームフラックスモニター
[ BFM-2F01 ]
RHEEDシステム
RHEEDスクリーン
[ SGシリーズ ]
サービス
オーダーメイド
メンテナンス・改造
各種装置移設
研究開発受託業務･コンサルティング
＊当社サイトに掲載されている会社名、システム名、製品名は一般に各社の登録商標または商標です。
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