アリオス株式会社 グリッドレスイオン源


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グリッドレスイオン源 GLISシリーズ

グリッドレスイオン源 GLIS series グリッドレスイオン源 GLIS series

概要

本イオンビーム源は、DC放電式のグリッドレスイオン源です。イオン生成とイオン加速を同時に行う動作原理により極めてシンプルな構造になっています。 強力な磁気回路と電極構造により低圧力状態でも安定した動作が可能です。
基板のクリーニング等の用途に最適です。オプションの中和器を用いることで絶縁物への対応も可能です。

用途例

  1. 成膜装置の基板クリーニング
  2. 分析装置の基板クリーニング
  3. イオンビームスパッタ

イオン電流密度

条件

  1. 電極-プローブ間距離：60mm
  2. 排気系：260L/s TMP(N2)+250L/min DP
  3. 圧力：3.7×10-2Pa(Ar.1sccm) 7.0×10-2Pa(Ar.2sccm)
グリッドレスイオン源 GLIS series グリッドレスイオン源 GLIS series

仕様

本体仕様（GLIS-C12）

型式 GLIS-C12
放電室 SUS
加速電圧 MAX 2000V
イオン照射口 φ12mm ※形状変更可
絶縁体 アルミナ
ベーキング 最大 200℃
ガス導入口 1/4 VCRTM
接続フランジ φ70CF
冷却方法 自然空冷

専用2kV DC電源

型式 DCPS-201
電源入力 単相 AC90～250V 50/60Hz
出力電圧 DC0V～+2000V
出力電流 0～10mA
制御方式 定電圧制御方式
冷却方式 自然空冷
表示 電圧・電流
出力コネクタ SHV
保護機能 外部インターロック
異常放電防止回路
出力短絡保護
保護機能 電圧・電流モニタ
リモートON/OFF
質量 2.6kg
標準添付品 同軸型出力ケーブル(5m)
ファンケーブル(5m)
AC入力ケーブル(3m)
ローカルコネクタ(1式)

標準構成

  • イオン源本体
  • 専用2kV DC電源(DCPS-201)
  • ケーブル類 一式

オプション

  • フィラメント中和器
  • 点火装置（高電圧パルス印加タイプ[自動]）

参考資料

製品カタログ
ダウンロード(PDF:530KB)

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。

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