大気側の回転運動を真空中に伝える部品です。これを回転導入機と呼んでいます。回転導入機には大きく分けて、軸をOリングで封止するタイプ、ベローズを用いるタイプ、磁気結合を用いるタイプの3種類があります。
本機は磁気結合を用いるタイプであり、超高真空にも使えること、長寿命である点がこのタイプの利点です。さらに本機の特長は、強力な希土類磁石を用いた磁気結合構造により、連続高速回転に使用できる点です。なお、摺動部はベアリングのみであり、これを交換するだけで半永久的に使用できます。
磁気でカップリングしていますので、大きなトルクがかかると脱調を起こすことがあります。これは欠点でもありますが、動かす側を過大なトルクから保護するという使い方もできます。
型式 | RFT 34B | RFT 34S | RFT 34D | RFT 34T | RFT 3470S | RFT 70S | RFT 70D | RFT 7034S |
フランジ | φ34CF | φ70CF | ||||||
タイプ | 低トルク | 通常トルク | 高トルク | 通常トルク2軸 | 通常トルク | 高トルク | 超高トルク | 高トルク中空 (φ34CF取りつけ中空型) |
軸径 | φ6 | φ9 / φ4 | φ6 | φ12 | φ12 | N / A | ||
伝達トルク (Nm) | 0.15 | 0.7 | 2.0 | 各軸 0.7 | 0.7 | 2.4 | 6.4 | 2.4 |
許容加熱温度 | 200℃ | |||||||
質量 (g) | 260 | 220 | 310 | 360 | 500 | 1220 | 1250 | 1160 |
共通仕様 |
<材質>
回転軸 : SUS 403 ケーシング : SUS 304 ローター : SS 400、ニッケルメッキ マグネット : 希土類マグネット リーク量 : 6.7×10-11 Pa・m3/sec 以下 |
型式 | RFT 3416B | RFT 3416S | RFT 3425B | RFT 3425S | RFT 3440B | RFT 3440S | RFT 7040 |
フランジ | NW16 | NW25 | NW40 | ||||
タイプ | 低トルク | 通常トルク | 低トルク | 通常トルク | 低トルク | 通常トルク | 高トルク |
軸径 | φ6 | φ12 | |||||
伝達トルク (Nm) | 0.15 | 0.7 | 0.15 | 0.7 | 0.15 | 0.7 | 2.4 |
許容加熱温度 | 150℃ | ||||||
質量 (g) | 200 | 250 | 250 | 250 | 250 | 250 | 1000 |
共通仕様 |
<材質> 回転軸 : SUS 403 ケーシング : SUS 304 ローター : SS 400、ニッケルメッキ マグネット : 希土類マグネット リーク量 : 6.7×10-11 Pa・m3/sec以下 |
オプション名 | 仕様 |
圧空駆動 | 許容加熱温度 (アクチュエータ部) : 60℃ 駆動圧力 : 0.25~0.7MPa 配管接続 : φ4チューブワンタッチ継ぎ手 回転角度任意設定 (0°~270°) ストッパー付き |
モーター駆動 | 30mm□のモータに対応します。(例:オリエンタルモーターTM PK224PB-L) ご指定のモータにあわせた設計も可能ですので、お問い合わせ下さい。 |
260℃ 高温仕様 | 260℃ 高温タイプのマグネットを使用します。
200℃ 以上のハードベークが必要な場合は このオプションを選択して下さい。 ※伝達トルクが10% 低下しますのでご注意下さい。 |
軸長変更 | フランジ真空側の軸長を指定して下さい。通常品は 50mmです。
10~100mm の範囲で指定頂けます。 |
ビューポートシャッター SFシリーズ
簡易型XY機構 SXYシリーズ
XYZステージ
規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。
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