アリオス株式会社 超小型マイクロ波プラズマ源

超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201

概要

本機は超小型のマイクロ波励起プラズマ源です。ガスライン、あるいは排気ラインの途中に取り付けて使うことを想定して開発しました。酸化処理用、窒化処置用、エッチング用などのラジカル源として、プラズマ装置のガスライン上流に取り付けてプリプロセスを行うなど、手軽にご使用頂けます。
プラズマについてはプラズマに関しての実践的テクニック、技術相談室：プラズマQ＆Aをご覧下さい。
マイクロ波については資料館：マイクロ波、技術相談室：マイクロ波Q＆A をご覧下さい。

特徴

1. プラズマ室は高純度アルミナ製で、放電を目視確認できます。
2. 無電極放電。新方式のマイクロ波供給方式により高密度プラズマを実現しました。
3. 完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全です。
4. 完全空冷式で冷却水は不要です。
5. 各種活性ガスの使用が可能です。
6. マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されますので、面倒な導波管接続が不要です。
7. イグナイター搭載により、放電がしやすくなっています。
8. プラズマ源本体の重量わずか1.9kgの軽量設計です。

用途例

1. チャンバークリーニング、コンタミネーション除去
2. ガスラインの途中に取り付けてのプロセス速度向上
3. メインのプラズマを活性化
4. ガス分解促進
5. 廃ガスを分解して除害装置の負担軽減

テクニカルノーツ

仕様

本体仕様

参考資料

200W マイクロ波電源仕様

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。

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