Zステージ｜アリオス株式会社

Zステージ　LMTシリーズ

2つのフランジ間の距離を可変することができる中空Zステージです。各種コンポーネントを取り付け、大気側から直線移動調整が可能です。
装置の用途により、所要ストローク量が異なる場合や電動駆動を推奨させて頂く場合があります。詳細はご相談ください。

型式	LMT 3410	LMT 7050	LMT 70100	LMT 11450	LMT 114100
フランジ	φ34CF	φ70CF		φ114CF
ストローク量	12.5mm	50mm	100mm	50mm	100mm
最小内径	φ16mm	φ38mm		φ60mm
共通仕様	ベーキング温度：最高 200℃ (ハンドル、デジタルスケール部を除く) リーク量： 6.7×10^-11 Pa・m³/sec 以下材質：ベローズﾞ部－SUS 316、フランジ－SUS 304、その他－アルミ合金

※規格以外のフランジ、ストローク変更など特殊仕様対応可能です。お気軽にお問い合わせ下さい。

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。