アリオス株式会社 2kW E型電子銃

2kW E型電子銃

概要

アリオスのE型電子銃は各種高融点金属などのほとんどの金属や酸化物用の蒸着源です。電源と合わせ小型コンパクトな構成となっています。
電源はフィラメント電源、高圧電源ともにJIS19インチラックに搭載可能で、省スペース化を実現しています。

特徴

1. アリオス独自の制御電源により、安定な蒸着が可能です。
2. CF114マウントでサイドエントリー、ボトムエントリーどちらも対応可能です。
3. 真空内長は装置に合わせて変更ができます。
4. コンパクトな電源構成で、JIS19インチラックに搭載可能です。
5. 高電圧感電防止のためのインターロック(フィラメント通電時のみ高圧が印加可能)を装備しています。
6. 専用のリモコンBOXにより、電源操作を簡単に行うことができます。

規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。

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