ILV-01型インターロックバルブは、通常は手動バルブとして使用でき、停電時などには自動的にクローズするユニークな機能を持ちあわせたバルブです。
排気系の安全対策・停電対策に最適です。
ポンプ電源(AC90~260V)に接続するだけで、ポンプの停止と同時にバルブが閉じ、真空容器などを真空保管します。
付属の電源コネクターに電源を接続し、電源を入力すると手動バルブ操作が可能です。
バルブ開時に電源を切断すると、瞬時にバルブが閉じます。(通電後、手動にて一度閉動作することで、開動作が可能になります。)
フランジの仕様により、2タイプご指定頂けます。
下記指定方法より型式をご指定下さい。
使用圧力 | 大気圧~10-7Pa |
弁座漏れ | 6.7×10-11Pa・m3/sec以下 |
使用周囲温度 | 0~50℃ |
取付姿勢 | 指定なし |
フランジ | CF70、NW40 (特別仕様可) |
全開時コンダクタンス | 25L/sec |
バルブボディ材質 | SUS304 |
シール材質 | フッ素ゴム |
動作時間 | 約0.1sec |
電源入力 | AC90~260V 0.2A |
ライフサイクル | 1万回 (常温で使用) |
質量 | 2.3kg(CF70タイプ) 2.0kg(NW40タイプ) |
規格品以外にも、特殊仕様の製作も可能です。下記よりお問い合わせください。
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